Potong SIC Chuck

Sikmerek kerosik Chuck minangka bagean keramik sing wis dilengkapi karo stabil kanggo fungsi wafer sing aman, efisien nggunakake aplikasi semikonduktor liwat langkah-langkah, uji coba, lan lithografi. Chuck kasebut diprodhuksi keramik karat karbida micro-pousous (SIC). SIC duwe kekuatan mekanik, resistensi kimia, lan sifat stabil termal sing dibutuhake kanggo lingkungan manufaktur semikonduktor sing nglereni.

Karakteristik penting saka Chuck SIC Keropos yaiku mikrostruktur sing unik, sing nuduhake keruwetan 35% -40%. Kanthi keruwetan chuck kanthi kenceng, desain sing overlying ngidini nyedhot vakum sing dispensasi ing Chuck ngasilake dhukungan stabil lan non-kontak sing konsisten kanggo luwih apik, lan semikonduktor senyawa sing alus utawa gan, lan semikonduktor senyawa sing alus.  Mode kaset vakum ngindhari kontaminasi partikel lan karusakan mekanik, saéngga njaga integritas wafer sajrone proses kasebut.

Badan keramik Chuck utamane Sic, karo keramik liyane, kayata Alumina (Al2ina (al2o3), potensial digunakake kanggo sawetara lapisan fungsional gumantung saka aplikasi kasebut. Penelitian lan pangembangan materi ngidini ukuran lan distribusi sing bisa dikersakake kanggo ngrancang kerajuan udara lan nyekeli daya gumantung karo ukuran wafer lan proses proses. Yen penting kanggo ngontrol vakum ing wafers sing luwih tipis, ukuran pori sing luwih cilik bakal digabung. Kanggo tarif aliran sing luwih cepet ing endi sing cocog, ukuran pori sing luwih gedhe bakal digunakake.

Potong SIC Potorir nuduhake variasi warna minangka asil saka ukuran pora, komposisi keramik, lan kahanan sing nembak. Cahya sic cenderung abu-abu ireng utawa peteng amarga warna silikon karbida yaiku warna abu-abu utawa ireng, nanging isi cilik karo isi alumina sing cenderung dadi warna putih. Varian ing warna ora ana pengaruh kanggo kinerja produk lan mung makili sifat sing direkayasa sing digawe kanggo aplikasi khusus kanggo tundhuk karo kabutuhan pelanggan.

Ing piranti pangolahan wafer wafer, stabilitas termal lan inertness kimia minangka loro fitur sing paling penting. Karbida silikon menehi resistensi apik kanggo gas karat lan muter termal. Chuck cilik sing keropos bisa mlaku ing kamar vakum lan alat plasma etch, lan terus mlaku kanthi suhu kanthi cepet. Kemampuan kanggo njaga stabilitas dimmenia Chuck njamin manawa wafer tetep ana ing lokasi sing padha, sanajan syarat akurasi bisa uga ana ing ngisor iki sub-micron gumantung karo stabilisasi dimensi.

Coklat Sikus Secorex Kerus digawe kanthi nggunakake wangun lan prosedur dosa sing sah sing nyedhiyakake pororitas seragam, kekuwatan flextural, lan ekspansi termal sing kurang. Saben chuck diteliti kanggo struktur pore, flatness lan kinerja vakum kanggo njamin produk sing bisa dipercaya lan bisa diulang. Desain khusus uga kasedhiya kanggo ngrampungake ukuran ukuran wafer lan khusus sistem kayata saluran aliran gas mburi utawa fitur sing dipasang.

Kesimpulan, Chuck SIC Air minangka linuwih sistem dhukungan substrat dhuwur sing wis dirancang kanthi ati-ati kanggo nggarap syarat kanggo proses wafer presisi. Kanthi kemampuan nyekel vakum sing dhuwur, struktur pori sing bisa disesuaikan, lan stabilitas materi sing pinunjul, iku produk sing penting ing garis fabrikasi semikonduktor saiki.