Poly-Si Outer Rings kanggo Etching

Biasane dipanggonke watarapadusan, Poly-Si ring njaba tumindak minangka bagean nyambungake antarane ring exhaust lan showerhead. Kerjane kooperatif karochuck elektrostatik, Si showerhead, ring fokus Si, ring exhaust Si, lan ring shielding Si, nggawe lingkungan proses anteng lan dipercaya kanggo operasi etching tliti dhuwur.

Kaluwihan saka Semicorex poly-Si dering njaba kanggo etching

Semicorex poly-Si dering njaba kanggo etching sing sabenere diprodhuksi saka polysilicon kualitas, ngirimke kinerja property banget ing ngisor iki.

1.Reresik dhuwur lan isi partikel kurang

2.Superior resistance suhu dhuwur lan resistance kejut termal dhuwur

3. Resistensi karat sing bisa dipercaya

4.Kinerja listrik sing luar biasa lan keseragaman konduktivitas listrik sing dhuwur

Fungsi Semicorex poly-Si ring njaba kanggo etsa

1. Kinerja grounding stabil

Digunakake kanggo grounding elektroda lan pangayoman, Semicorex poly-Si dering njaba kanggo etsa bisa supaya klempakan statis uga karusakan busur lan mesthekake operasi stabil saka sistem elektroda, sampurna ketemu panjaluk proses kanggo majeng 3D NAND pabrikan.

2. Dhukungan sing dipercaya

Semicorex poly-Si dering njaba kanggo etching ngawula minangka komponen penting nyambungake ring exhaust lan showerhead. Dheweke nyedhiyakake dhukungan mekanik sing dipercaya kanggo loro bagean kasebut lan tetep dilebokake ing papan sing cocog. Kajaba iku, nggunakake Semicorex poly-Si dering njaba kanggo etching bisa nyegah erosi plasma ing kamar etching, kang mangkono èfèktif njamin execution stabil saka operasi etching.

3. Kompatibilitas karo proses etching

Semicorex poly-Si dering njaba kanggo etching fitur isi impurity kurang lan resistance karat ngédap, ngirimke kompatibilitas banget karo pabrikan wafer silikon, kang nemen sudo cacat wafer disebabake kontaminasi dening-produk lan Ngartekno njamin tingkat ngasilaken dhuwur ing produksi semikonduktor.