Dering Fokus Processing Plasma

Cincin fokus pangolahan plasma Semicorex dirancang khusus kanggo nyukupi panjaluk pangolahan etch plasma ing industri semikonduktor. Komponen Dilapisi Silicon Carbide sing maju lan kemurnian dhuwur dibangun kanggo tahan lingkungan sing ekstrem lan cocog kanggo digunakake ing macem-macem aplikasi, kalebu lapisan karbida silikon lan semikonduktor epitaksi.

Kirim Pitakonan

Deskripsi Produk

Dering fokus pangolahan Plasma kita stabil banget kanggo RTA, RTP, utawa reresik kimia sing atos, dadi pilihan sing cocog kanggo digunakake ing ruang etch plasma (utawa etch garing). Dirancang kanggo nambah keseragaman etch ing pinggir wafer utawa keliling, dering fokus utawa dering pinggir dirancang kanggo nyilikake kontaminasi lan pangopènan sing ora dijadwal.

Lapisan SiC kita minangka lapisan silikon karbida sing padhet lan tahan nganggo kanthi sifat karat lan tahan panas uga konduktivitas termal sing apik banget. Kita aplikasi SiC ing lapisan tipis menyang grafit nggunakake proses deposisi uap kimia (CVD). Iki mesthekake yen Cincin Fokus SiC kita duwe kualitas lan daya tahan sing unggul, dadi pilihan sing dipercaya kanggo kabutuhan pangolahan etch plasma.

Hubungi kita dina iki kanggo mangerteni sing luwih lengkap babagan dering fokus pangolahan Plasma.

Parameter ring fokus pangolahan Plasma

Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC
Properti SiC-CVD
Struktur Kristal	Fase FCC Î²
Kapadhetan	g/cm³	3.21
Kekerasan	kekerasan Vickers	2500
Ukuran gandum	Î¼m	2~10
Kemurnian Kimia	%	99.99995
Kapasitas panas	J·kg-1 ·K-1	640
Suhu Sublimasi	℃	2700
Kekuwatan Felexural	MPa (RT 4-titik)	415
Modulus Young	Gpa (4pt bend, 1300â)	430
Ekspansi Termal (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Konduktivitas termal	(W/mK)	300

Fitur ring fokus pangolahan Plasma

- lapisan CVD Silicon Carbide kanggo nambah urip layanan.

- Insulasi termal digawe saka karbon kaku sing diresiki kanthi kinerja dhuwur.

- Pemanas lan piring komposit Karbon / Karbon.- Loro-lorone substrat grafit lan lapisan karbida silikon duwe konduktivitas termal sing dhuwur, lan sifat distribusi panas sing apik banget.

- Grafit kemurnian dhuwur lan lapisan SiC kanggo resistensi pinhole lan umur sing luwih dhuwur