Silicon nitride (Si₃N₄) minangka bahan keramik struktural kanthi konduktivitas termal intrinsik watara 320 W/(m·K), kanthi konduktivitas termal sing dhuwur lan sifat mekanik sing luar biasa. Thanks kanggo stabilitas sing unggul ing suhu sekitar, Si₃N₄ wis dadi bahan kemasan substrat keramik sing dig......
Waca liyaneIng fabrikasi piranti semikonduktor dhuwur, film SiO₂ biasane dibentuk liwat proses oksidasi kanggo perawatan permukaan substrat, lan aplikasi umume kalebu lapisan penghalang dopan, lapisan insulasi permukaan, lapisan oksida gerbang, oksida lapangan lan oksida kurban. Minangka proses inti ing fabrik......
Waca liyaneKanthi kemajuan teknologi, produk cerdas kayata ponsel, komputer, kendharaan listrik, lan robot wis dadi integral ing urip manungsa. Produk kasebut ngemot akeh chip semikonduktor, lan pabrikan chip mbutuhake peralatan semikonduktor, kayata mesin etsa, mesin litografi, lan implanter ion. Mbukak piran......
Waca liyaneWafer silikon tahan dhuwur (HR-Si), kaya jenenge, minangka bahan silikon monokristalin kanthi resistivitas dhuwur banget. Ing lapangan manufaktur semikonduktor majeng, mundhut frekuensi dhuwur wis dadi tantangan utama ing desain chip dhuwur-mburi. Thanks kanggo resistivitas ultra-dhuwur, wafer silik......
Waca liyaneDering fokus, uga diarani dering kompensasi utawa dering kurungan, minangka komponen penting saka peralatan etsa, utamane peralatan etch garing plasma. Proses etsa presisi skala nano ing manufaktur semikonduktor modern ora bakal bisa ditindakake tanpa. Panggunaan ring fokus njamin uniformity etching......
Waca liyaneKanthi ngatur profil pemanasan lan pendinginan kanthi tepat, proses anil bisa ngaktifake atom dopan, ndandani karusakan kisi, nyuda stres internal, lan nambah linuwih listrik saka wafer. Peningkatan kinerja kritis iki nyedhiyakake dhasar sing kuat kanggo pangolahan wafer sakteruse, dadi prasyarat in......
Waca liyane