> Kabar > Warta Industri

Semicorex Keramik Applied ing Processing Semikonduktor

● 2026-05-27 ● - ● Ninggalake kula pesen

Kanthi kemajuan teknologi, produk cerdas kayata ponsel, komputer, kendharaan listrik, lan robot wis dadi integral ing urip manungsa. Produk kasebut ngemot akeh chip semikonduktor, lan pabrikan chip mbutuhake peralatan semikonduktor, kayata mesin etsa, mesin litografi, lan implanter ion. Mbukak piranti semikonduktor nuduhake manawa sebagian besar komponen yaiku bagean keramik. Bagean keramik nduweni sifat sing apik kayata tahan suhu dhuwur, tahan korosi, presisi dhuwur, lan kekuatan dhuwur, saengga cocog kanggo digunakake ing peralatan semikonduktor. Umume bagean keramik, minangka komponen utama ing proses manufaktur semikonduktor, langsung hubungi wafer, mbisakake kontrol tliti dhuwur lan pemanasan lan pendinginan suhu permukaan wafer kanthi cepet.

Bagean keramik semikonduktor kalebu keramik canggih, lan bahan keramik biasane kalebu alumina, silikon karbida, aluminium nitrida, silikon nitrida, lan yttrium oksida. Cara mbentuk produk Keramik biasane kalebu meksa garing, tape casting, injeksi ngecor, panas isostatic mencet, kadhemen isostatic mencet, slip casting, extrusion ngecor, panas die casting, gel casting, lan casting solidification langsung.

1. Tekan garing

Pencet garing minangka proses umum kanggo nggawe komponen semikonduktor. Proses iki utamane nyakup bubuk granulated kanthi distribusi ukuran partikel sing cocog menyang rongga cetakan logam, ngetrapake tekanan kanthi kepala tekanan. Sirah tekanan obah ing rongga cetakan, nransfer tekanan menyang partikel bubuk lan dipadhetke, pungkasane mbentuk kosong keramik kanthi wangun lan kekuatan tartamtu.

2. Casting

Casting minangka teknologi pembentuk udan sing bisa ngasilake kosong keramik kanthi kekandelan saka puluhan mikrometer nganti milimeter ing siji proses. A slurry Keramik karo viskositas apik lan sawur mili saka alur slurry mesin casting menyang landasan. Slurry nyebar, lan ing tegangan permukaan, kothong kanthi permukaan ndhuwur sing lancar dibentuk. Kothong, bebarengan karo substrate, dikirim menyang kamar pangatusan. Sawise pelarut nguap, binder organik mbentuk jaringan ing antarane partikel keramik, nggawe kosong kanthi kekuatan lan keluwesan tartamtu. Kothong garing dikupas saka landasan lan digulung kanggo digunakake mengko. Pangolahan luwih lanjut, kayata nglereni, stamping, lan tindikan, diikuti karo tembak, ngrampungake proses manufaktur produk.

3. Injeksi Molding

Cetakan injeksi minangka teknologi anyar kanggo nggawe bagean keramik. Proses produksi utamane dumadi saka patang tahapan: nyiapake bahan injeksi, ngecor injeksi, debinding, lan sintering. Biasane digunakake kanggo nggawe bagean keramik cilik kanthi geometri kompleks lan syarat khusus.

4. Isostatic Pressing

Penekanan isostatik kalebu penekan isostatik panas lan penekan isostatik dingin. Pencet isostatik bisa ngirim tekanan saka kabeh arah, saéngga njamin densifikasi bahan lembaran.

1) Proses Pencet Isostatik Panas

Cara iki nambah difusi atom ing suhu lan tekanan dhuwur, nyebabake pori-pori ing keramik pindhah menyang wates gandum utawa lumahing workpiece, saéngga nyuda utawa ngilangi porositas. Pencet isostatik panas nggunakake unit belitan prategasan berdinding tipis, ngidini pendinginan seragam lan cepet, kanthi nyata ningkatake efisiensi produksi dibandhingake karo pendinginan alami.

2) Proses Pencet Isostatik Dingin

Cara iki ditrapake 100 ~ 600 MPa kanggo bubuk keramik utawa logam ing suhu kamar utawa suhu sing rada dhuwur (<93 ℃) kanggo entuk "awak ijo", sing banjur disinter nganti kekuatan pungkasan.

5. Slip Casting

Slip casting minangka cara cetakan sing umum digunakake ing produksi keramik skala gedhe. Iki kalebu nyuntikake slurry kanthi isi padhet sing dhuwur lan fluiditas sing apik menyang cetakan plester keropos. Amarga nyedhot kapiler saka jamur keropos, banyu ditarik saka slurry dening tembok njero jamur, mbentuk awak ijo solidified ing sadawane tembok jamur. Sawise awak ijo wis tekan kekuatan tartamtu, bisa dibongkar.

6. Extrusion Molding

Extrusion ngecor melu nyawiji wêdakakêna Keramik, lempung utawa Organic binder, lan banyu, bola-bali kneading, vakum degassing, lan tuwa kanggo menehi extruded awak ijo plasticity apik lan uniformity. Banjur, miturut tumindak sekrup ekstrusi utawa plunger, diekstrusi liwat die ing nozzle extruder kanggo entuk wujud produk sing dikarepake.

7. Hot Press Casting

Hot press casting utamané nggunakke properti saka lilin paraffin leleh nalika digawe panas lan solidifying marang cooling. Wêdakakêna keramik lan lilin parafin panas dicampur kanthi seragam kanggo mbentuk slurry sing bisa dialirake. Ing tekanan tartamtu, slurry disuntikake menyang cetakan logam kanggo mbentuk awak ijo. Sawise cooling lan solidification, awak ijo demolded lan dibusak. Awak ijo banjur dipotong, dewaxed ing suhu dhuwur, lan pungkasanipun sintered kanggo gawé produk rampung.

8. Gel Casting

Pengecoran gel kalebu nyebar bubuk keramik ing larutan sing ngemot bahan organik kanggo nyiyapake suspensi padatan dhuwur. Suspensi iki banjur disuntikake menyang cetakan kanthi wangun tartamtu. Ing kahanan katalitik lan suhu tartamtu, monomer organik polimerisasi, mbentuk gel, ngalangi suspensi in situ, lan garing, nyebabake awak ijo kanthi kekuatan dhuwur.

9. Casting Solidification langsung

Casting solidifikasi langsung minangka cara anyar kanggo mbentuk struktur koloid ukuran net keramik. Cara iki nggabungake teknologi keramik tradisional karo téori kimia, nggunakake katalis utawa inisiator kanggo njalari cross-linking monomer organik sing ditambahake menyang suspensi, mbentuk struktur jaringan sing ndadékaké solidifikasi in-situ.