Napa milih susceptor grafit sing dilapisi SiC?

Suseptor grafitminangka salah sawijining bagean penting ing peralatan MOCVD, yaiku operator lan pemanas substrat wafer. Sifat-sifat stabilitas termal lan keseragaman termal nduweni peran penting ing kualitas pertumbuhan epitaxial wafer, sing langsung nemtokake keseragaman lan kemurnian bahan lapisan, saengga kualitase langsung mengaruhi persiapan epitaksi. Ing sawetoro wektu, kanthi nambah jumlah panggunaan lan owah-owahan ing kahanan kerja, gampang banget ilang, lan kalebu bahan bakar. konduktivitas termal banget grafit lan stabilitas ndadekake kauntungan apik minangkakomponen dhasar kanggo peralatan MOCVD. Nanging, yen mung grafit murni digunakake, bakal ngadhepi sawetara masalah. Bakal ana gas korosif lan residu organik logam ing proses produksi, lan basa grafit bakal corrode lan nyelehake bubuk, sing nyuda umur layanan.suseptor grafit, lan bubuk grafit tiba uga bakal nimbulaké polusi kanggo chip, supaya ing proses preparation saka basa uga masalah iki kudu ditanggulangi sak preparation saka basa. Teknologi lapisan bisa nyedhiyakake fiksasi bubuk permukaan, ningkatake konduktivitas termal, lan nyelarasake distribusi termal, sing dadi teknologi utama kanggo ngatasi masalah iki. Teknologi utama kanggo ngatasi masalah iki. Miturut lingkungan aplikasi lan syarat sakasuseptor grafit, lapisan permukaan kudu nduweni ciri ing ngisor iki.

Kapadhetan dhuwur lan bungkus lengkap: basa grafit kanthi sakabehe ana ing suhu sing dhuwur, lingkungan kerja sing korosif, permukaan kudu dibungkus kanthi lengkap, dene lapisan kasebut kudu nduweni kepadatan sing apik kanggo nduwe peran protèktif sing apik.

Flatness lumahing apik: Minangka basa grafit digunakake kanggo wutah kristal siji mbutuhake flatness lumahing dhuwur banget, flatness asli basa kudu maintained sawise nutupi wis disiapake, IE lumahing nutupi kudu seragam.

Kekuwatan ikatan sing apik: Ngurangi bedane koefisien ekspansi termal ing antarane basa grafit lan bahan lapisan kanthi efektif bisa nambah kekuatan ikatan ing antarane, lan lapisan kasebut ora gampang retak sawise siklus termal suhu dhuwur lan kurang.

Konduktivitas termal dhuwur: wutah chip kualitas dhuwur mbutuhake panas cepet lan seragam saka basa grafit, supaya materi lapisan kudu konduktivitas termal dhuwur.

Titik lebur sing dhuwur, oksidasi suhu dhuwur lan tahan karat: Lapisan kasebut kudu bisa digunakake kanthi stabil ing suhu dhuwur lan lingkungan kerja sing korosif.