Kepiye Chucks Elektrostatik Keramik Diproduksi?

Cara clamping wafer tradisional kalebu clamping mechanical umume digunakake ing industri mechanical tradisional lan ikatan lilin, loro kang bisa gampang ngrusak wafer, nimbulaké warping, lan contaminate iku, Ngartekno impact tliti Processing.

Kepiye Vacuum Chucks Evolve lan KenapaChucks Elektrostatik KeramikDisenengi?

Sajrone wektu, chuck vakum digawe saka keramik keropos dikembangake. Chucks iki nggunakake tekanan negatif sing dibentuk ing antarane wafer silikon lan permukaan keramik kanggo nahan wafer, sing bisa nyebabake deformasi lokal lan mengaruhi flatness. Mulane, ing taun-taun pungkasan,chucks elektrostatik keramik, sing nyedhiyakake pasukan adsorpsi sing stabil lan seragam, nyegah kontaminasi wafer, lan ngontrol suhu wafer silikon kanthi efektif, wis dadi alat clamping sing cocog kanggo wafer ultra tipis.

Carane Proses ProduksiChucks Elektrostatik KeramikDigawa metu?

Umumé, teknologi co-firing keramik multilayer digunakake, sing kalebu proses kayata tape casting, slicing, screen printing, laminasi, hot pressing, lan sintering.

Kanggo Coulomb-jinischucks elektrostatik, lapisan dielektrik ora ngemot bahan konduktif. Iki kalebu campuran bubuk keramik, pelarut, dispersant, binder, plasticizer, lan alat sintering kanggo nggawe slurry sing stabil. Slurry iki banjur dilapisi nganggo pisau dokter, dikeringake, lan diiris kanggo mbentuk lembaran ijo keramik kanthi kekandelan tartamtu. Kanggo JR-jinischucks elektrostatik, adjusters resistivity tambahan (bahan konduktif) pipis kanggo entuk resistance dibutuhake saka lapisan J-R, ngiring dening tape casting kanggo mbentuk sheets ijo.

Printing layar utamane digunakake kanggo nyiapake lapisan elektroda. tempel konduktif pisanan diwutahake ing salah siji mburi piring printing layar. Ing tumindak squeegee ing printer layar, paste konduktif liwat bukaan bolong piring layar lan celengan menyang landasan. Proses printing rampung nalika squeegee nyebar tempel perak roto-roto liwat bolong layar.

Lembaran keramik ijo ditumpuk ing urutan sing dibutuhake (lapisan substrat, lapisan elektroda, lapisan dielektrik) lan jumlah lapisan. Banjur dipencet bebarengan ing kahanan suhu lan tekanan tartamtu kanggo mbentuk awak ijo sing lengkap. Penting kanggo mesthekake yen tekanan disebarake kanthi merata ing kabeh permukaan awak ijo kanggo njamin penyusutan seragam sajrone kompresi.

Pungkasan, awak ijo sing lengkap ngalami sintering terpadu ing tungku. Profil suhu sing cocog kudu ditetepake kanggo mesthekake kontrol flatness lan shrinkage sajrone proses sintering. Dilaporake yen NGK Jepang bisa ngontrol tingkat penyusutan bubuk sajrone sintering nganti udakara 10%, dene umume pabrikan domestik isih duwe tingkat penyusutan 20% utawa luwih.**

Kita ing Semicorex duwe pengalaman nyedhiyakake solusi saka Chucks Elektrostatik Keramiklanbahan keramik liyaneditrapake ing sektor semikonduktor lan PV, yen sampeyan duwe pitakon utawa butuh rincian tambahan, aja ragu-ragu hubungi kita.

Kontak telpon: +86-13567891907

Email: sales@semicorex.com