Proses Annealing ing Manufaktur Semikonduktor Modern

Nalika simpul teknologi terus nyusut, pambentukan persimpangan ultra-cethek menehi tantangan sing signifikan. Proses anil termal kalebuRapid thermal annealing (RTA)lan lampu kilat annealing (FLA) minangka teknik penting sing njaga tingkat aktivasi impurity sing dhuwur nalika nyilikake difusi, njamin kinerja piranti sing optimal.

1. Formasi Persimpangan Ultra-cethek:

Minangka simpul teknologi nyusut, mbentuk persimpangan ultra-cethek saya tantangan. Teknik kayata anil termal cepet (RTA) lan lampu kilat annealing (FLA) wigati kanggo nggayuh tingkat aktivasi impurity dhuwur nalika nyilikake panyebaran, saéngga njamin kinerja piranti optimal.

2. Modifikasi Dielektrik Gerbang Tinggi:

Post-deposition annealing (PDA) nambahake sifat listrik saka dielektrik gerbang k dhuwur. Proses iki nyuda arus bocor gerbang lan nambah konstanta dielektrik, sing penting kanggo piranti logika lan memori canggih.

3. Pembentukan Silisida Logam:

Optimasi silisida logam, kayata CoSi lan NiSi, penting kanggo ningkatake resistensi kontak lan akeh. Kontrol sing tepat babagan kondisi anil nggampangake nggawe fase campuran sing cocog, nambah efisiensi piranti sakabèhé.

4. Teknologi Integrasi 3D:

Ing teknologi kaya 3D NAND lan 3D DRAM, proses anil kudu ditrapake ing pirang-pirang lapisan. Teknik termal kanthi cepet nduweni peran penting kanggo njamin saben lapisan entuk kinerja sing optimal.

Annealing kritis ing manufaktur semikonduktor, mbisakake ndandani karusakan kisi, aktivasi impurity, modifikasi film, lan pembentukan silicide logam liwat kontrol suhu, wektu, lan anggaran termal sing tepat. Minangka simpul teknologi nyilikake, cara anil maju kayaRTA, FLA, lan laser spike annealing wis dadi mainstream. Ing ngarep, proses anil bakal terus berinovasi kanggo nyukupi kabutuhan bahan lan piranti sing anyar.

Semicorex nawakake industri sing unggulsolusi annealing, mesthekake piranti semikonduktor sampeyan cocog karo standar kinerja paling dhuwur kanthi presisi lan linuwih.

Yen sampeyan duwe pitakon utawa butuh rincian tambahan, aja ragu-ragu hubungi kita.

Kontak telpon # +86-13567891907

Email: sales@semicorex.com