Pembawa Wafer MOCVD kanggo Industri Semikonduktor

Pembawa Wafer Semicorex MOCVD kanggo Industri Semikonduktor minangka operator paling dhuwur sing dirancang kanggo digunakake ing industri semikonduktor. Materi kemurnian sing dhuwur njamin profil termal lan pola aliran gas laminar, ngirim wafer berkualitas tinggi.

Kirim Pitakonan

Deskripsi Produk

Pembawa Wafer MOCVD kita kanggo Industri Semikonduktor murni banget, digawe dening deposisi uap kimia CVD ing kahanan klorinasi suhu dhuwur, njamin keseragaman lan konsistensi produk. Uga tahan korosi banget, kanthi permukaan sing padhet lan partikel sing apik, dadi tahan kanggo asam, alkali, uyah, lan reagen organik. Resistensi oksidasi suhu dhuwur njamin stabilitas ing suhu dhuwur nganti 1600 ° C.
Hubungi kita dina iki kanggo sinau luwih lengkap babagan Pembawa Wafer MOCVD kanggo Industri Semikonduktor.

Parameter Pembawa Wafer MOCVD kanggo Industri Semikonduktor

Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC
SiC-CVD Properties
Struktur Kristal	Fase β FCC
Kapadhetan	g/cm³	3.21
Hardness	kekerasan Vickers	2500
Ukuran gandum	μm	2~10
Kemurnian Kimia	%	99.99995
Kapasitas panas	J kg-1 K-1	640
Suhu Sublimasi	℃	2700
Kekuwatan Felexural	MPa (RT 4-titik)	415
Modulus Muda	Gpa (4pt bend, 1300 ℃)	430
Ekspansi Termal (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Konduktivitas termal	(W/mK)	300

Fitur SiC Coated Graphite Susceptor kanggo MOCVD

- Aja peeling lan mesthekake lapisan ing kabeh permukaan
Tahan oksidasi suhu dhuwur: Stabil ing suhu dhuwur nganti 1600 ° C
Kemurnian dhuwur: digawe dening deposisi uap kimia CVD ing kondisi klorinasi suhu dhuwur.
Resistance korosi: atose dhuwur, lumahing padhet lan partikel alus.
Tahan korosi: asam, alkali, uyah lan reagen organik.
- Entuk pola aliran gas laminar sing paling apik
- Njamin evenness saka profil termal
- Nyegah sembarang kontaminasi utawa difusi impurities