Semicorex minangka jeneng sing dipercaya ing industri semikonduktor, nyedhiyakake MOCVD Planet Susceptor kanggo Semikonduktor berkualitas tinggi. Produk kita dirancang kanggo nyukupi kabutuhan khusus produsen semikonduktor sing golek operator sing bisa menehi kinerja, stabilitas, lan daya tahan sing apik. Hubungi kita dina iki kanggo mangerteni sing luwih lengkap babagan produk kita lan carane kita bisa mbantu karo kabutuhan manufaktur semikonduktor.
MOCVD Planet Susceptor kanggo Semikonduktor nduweni fitur tahan oksidasi suhu dhuwur, njamin stabilitas ing suhu dhuwur nganti 1600 ° C. Uga murni banget, digawe dening deposisi uap kimia CVD ing kondisi klorinasi suhu dhuwur, njamin keseragaman lan konsistensi produk, malah profil termal lan pola aliran gas laminar.
Hubungi kita dina iki kanggo mangerteni sing luwih lengkap babagan MOCVD Planet Susceptor kanggo Semikonduktor.
Parameter MOCVD Planet Susceptor kanggo Semikonduktor
Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC |
||
Properti SiC-CVD |
||
Struktur Kristal |
Fase FCC β |
|
Kapadhetan |
g/cm³ |
3.21 |
Kekerasan |
kekerasan Vickers |
2500 |
Ukuran gandum |
μm |
2~10 |
Kemurnian Kimia |
% |
99.99995 |
Kapasitas panas |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Suhu Sublimasi |
℃ |
2700 |
Kekuwatan Felexural |
MPa (RT 4-titik) |
415 |
Modulus Young |
Gpa (4pt bend, 1300â) |
430 |
Ekspansi Termal (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Konduktivitas termal |
(W/mK) |
300 |
Fitur SiC Coated Graphite Susceptor kanggo MOCVD
- Aja peeling lan mesthekake lapisan ing kabeh permukaan
Tahan oksidasi suhu dhuwur: Stabil ing suhu dhuwur nganti 1600 ° C
Kemurnian dhuwur: digawe dening deposisi uap kimia CVD ing kahanan klorinasi suhu dhuwur.
Ketahanan korosi: kekerasan dhuwur, permukaan sing padhet lan partikel sing apik.
Tahan korosi: asam, alkali, uyah lan reagen organik.
- Entuk pola aliran gas laminar sing paling apik
- Njamin evenness saka profil termal
- Nyegah sembarang kontaminasi utawa difusi impurities