Semicorex minangka produsen skala gedhe lan pemasok Silicon Carbide Coated Graphite Susceptor ing China. Kita fokus ing industri semikonduktor kayata lapisan silikon karbida lan semikonduktor epitaksi. Cincin Inlet Gas Kita kanggo Peralatan Semikonduktor duwe kauntungan rega sing apik lan nutupi akeh pasar Eropa lan Amerika. We look nerusake kanggo dadi partner long-term ing China.
Cincin Inlet Gas Semicorex kanggo Peralatan Semikonduktor yaiku SiC Coated, yaiku lapisan silikon karbida (SiC) sing padhet lan tahan nyandhang. Nduwe sifat karat lan tahan panas uga konduktivitas termal sing apik. Kita aplikasi SiC ing lapisan tipis menyang grafit nggunakake proses deposisi uap kimia (CVD).
Ring Inlet Gas kita kanggo Peralatan Semikonduktor dirancang kanggo entuk pola aliran gas laminar sing paling apik, njamin kerataan profil termal. Iki mbantu kanggo nyegah kontaminasi utawa panyebaran impurities, njamin wutah epitaxial kualitas dhuwur ing chip wafer.
Hubungi kita dina iki kanggo mangerteni sing luwih lengkap babagan Gas Inlet Ring kanggo Peralatan Semikonduktor.
Parameter Ring Inlet Gas kanggo Peralatan Semikonduktor
Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC |
||
Properti SiC-CVD |
||
Struktur Kristal |
Fase FCC β |
|
Kapadhetan |
g/cm³ |
3.21 |
Kekerasan |
kekerasan Vickers |
2500 |
Ukuran gandum |
μm |
2~10 |
Kemurnian Kimia |
% |
99.99995 |
Kapasitas panas |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Suhu Sublimasi |
℃ |
2700 |
Kekuwatan Felexural |
MPa (RT 4-titik) |
415 |
Modulus Young |
Gpa (4pt bend, 1300â) |
430 |
Ekspansi Termal (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Konduktivitas termal |
(W/mK) |
300 |
Fitur Ring Inlet Gas kanggo Peralatan Semikonduktor
â Grafit dilapisi SiC kemurnian dhuwur
â Tahan panas sing unggul & keseragaman termal
â Dilapisi kristal SiC sing apik kanggo permukaan sing mulus
â Daya tahan dhuwur tumrap reresik kimia
â Materi dirancang supaya ora retak lan delaminasi.