> Produk > Komponen Semikonduktor > Ring Fokus > Rings Fokus Awet kanggo Processing Semikonduktor

Produk

Produk Anyar

Rings Fokus Awet kanggo Processing Semikonduktor

Cincin fokus awet Semicorex kanggo pangolahan semikonduktor dirancang kanggo tahan lingkungan ekstrem saka kamar etch plasma sing digunakake ing pangolahan semikonduktor. Cincin fokus kita digawe saka grafit kemurnian dhuwur sing dilapisi karo lapisan silikon karbida (SiC) sing padhet lan tahan nyandhang. Lapisan SiC nduweni sifat korosi lan tahan panas sing dhuwur, uga konduktivitas termal sing apik banget. Kita ngetrapake SiC ing lapisan tipis menyang grafit kanthi nggunakake proses deposisi uap kimia (CVD) kanggo nambah umur layanan dering fokus.

Kirim Pitakonan

Deskripsi Produk

Dering fokus awet kita kanggo pangolahan semikonduktor dirancang kanggo nambah keseragaman etch ing pinggir wafer utawa keliling, nyuda kontaminasi lan pangopènan sing ora dijadwal. Padha stabil banget kanggo anil termal cepet (RTA), pangolahan termal kanthi cepet (RTP), lan reresik kimia sing atos.

Ing Semicorex, kita fokus ing nyediakake rings fokus awet kualitas dhuwur, biaya-efektif kanggo Processing semikonduktor, kita prioritize kepuasan pelanggan lan menehi solusi biaya-efektif. We look nerusake kanggo dadi partner long-term Panjenengan, ngirimke produk kualitas lan layanan customer ngédap.

Hubungi kita dina iki kanggo mangerteni sing luwih lengkap babagan dering fokus awet kanggo Processing semikonduktor.

Parameter ring fokus awet kanggo pangolahan semikonduktor

Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC
Properti SiC-CVD
Struktur Kristal	Fase FCC Î²
Kapadhetan	g/cm³	3.21
Kekerasan	kekerasan Vickers	2500
Ukuran gandum	Î¼m	2~10
Kemurnian Kimia	%	99.99995
Kapasitas panas	J·kg-1 ·K-1	640
Suhu Sublimasi	℃	2700
Kekuwatan Felexural	MPa (RT 4-titik)	415
Modulus Young	Gpa (4pt bend, 1300â)	430
Ekspansi Termal (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Konduktivitas termal	(W/mK)	300