> Produk > Keramik > Silicon Carbide (SiC) > Rings Fokus Awet kanggo Processing Semikonduktor

Produk

Produk Anyar

Rings Fokus Awet kanggo Processing Semikonduktor

Cincin fokus awet Semicorex kanggo pangolahan semikonduktor dirancang kanggo tahan lingkungan ekstrem saka kamar etch plasma sing digunakake ing pangolahan semikonduktor. Cincin fokus kita digawe saka grafit kemurnian dhuwur sing dilapisi karo lapisan silikon karbida (SiC) sing padhet lan tahan nyandhang. Lapisan SiC nduweni sifat korosi lan tahan panas sing dhuwur, uga konduktivitas termal sing apik banget. Kita aplikasi SiC ing lapisan tipis menyang grafit nggunakake proses deposisi uap kimia (CVD) kanggo nambah urip layanan dering fokus kita.

Kirim Pitakonan

Deskripsi Produk

Dering fokus awet kita kanggo pangolahan semikonduktor dirancang kanggo nambah keseragaman etch ing pinggir wafer utawa keliling, nyilikake kontaminasi lan pangopènan sing ora dijadwal. Padha stabil banget kanggo anil termal kanthi cepet (RTA), pangolahan termal kanthi cepet (RTP), lan reresik kimia sing atos.

Ing Semicorex, kita fokus ing nyediakake kualitas dhuwur, dering fokus awet biaya-efektif kanggo Processing semikonduktor, kita prioritas kepuasan pelanggan lan menehi solusi biaya-efektif. We look nerusake kanggo dadi partner long-term Panjenengan, ngirimke produk kualitas lan layanan customer ngédap.

Hubungi kita dina iki kanggo mangerteni sing luwih lengkap babagan dering fokus awet kanggo Processing semikonduktor.

Parameter ring fokus awet kanggo pangolahan semikonduktor

Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC
SiC-CVD Properties
Struktur Kristal	Fase β FCC
Kapadhetan	g/cm³	3.21
Kekerasan	kekerasan Vickers	2500
Ukuran gandum	μm	2~10
Kemurnian Kimia	%	99.99995
Kapasitas panas	J kg-1 K-1	640
Suhu Sublimasi	℃	2700
Kekuwatan Felexural	MPa (RT 4-titik)	415
Modulus Muda	Gpa (4pt bend, 1300 ℃)	430
Ekspansi Termal (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Konduktivitas termal	(W/mK)	300