Custom SiC Cantilever Paddle

Semicorex Custom SiC Cantilever Paddle serves minangka link kritis antarane sistem loading wafer lan jantung tungku difusi, tanggung jawab kanggo ngangkut kapal wafer kuarsa utawa SiC sarat wafer silikon menyang zona pangolahan suhu dhuwur. Desain lan sifat materi dioptimalake kanthi tliti kanggo tugas sing nuntut iki:

Struktur Cantilever sing Mantap kanggo Transportasi Wafer Stabil:Desain cantilevered, ditondoi dening lengen kaku ndawakake menyang tungku, menehi stabilitas ngédap lan kontrol pas gerakan wafer. Iki njamin transportasi sing lancar lan bebas getaran, nyuda resiko rusak wafer utawa misalignment nalika mbukak lan mbukak.

Kapasitas Muatan Dhuwur kanggo Pemrosesan Batch sing Efisien:Kekuwatan lan kaku sing ana ing keramik SiC ngidini Custom SiC Cantilever Paddle bisa nampung wafer silikon sing akeh banget, nggedhekake throughput saben siklus difusi lan nyumbang kanggo volume produksi sing luwih dhuwur.

Kontrol Dimensi sing Presisi kanggo Integrasi sing mulus: Paddle Cantilever SiC Custom digawe kanthi tliti kanggo spesifikasi dimensi sing tepat, njamin pas ing sistem tungku difusi lan nggampangake integrasi sing mulus karo robot penanganan wafer otomatis.

Pamilihan keramik SiC, khususeReaction Bonded Silicon Carbide (RBSiC)lanSintered Silicon Carbide (SSiC), minangka bahan pilihan kanggo Custom SiC Cantilever Paddle asale saka karakteristik kinerja sing luar biasa ing lingkungan suhu dhuwur:

Stabilitas Suhu Dhuwur sing ora tegang: Custom SiC Cantilever Paddle nuduhake resistance luar biasa kanggo deformasi lan creep sanajan ing suhu dhuwur (nganti 1600 ° C) ditemoni ing tungku difusi. Iki njamin dhukungan wafer sing konsisten lan nyegah kendur utawa mlengkung sing bisa kompromi keseragaman wafer.

Resistensi Kejut Termal sing luar biasa:Kemampuan kanggo nahan transisi suhu kanthi cepet tanpa karusakan penting kanggo njaga integritas Custom SiC Cantilever Paddle sajrone siklus difusi sing ora kaetung. Keramik SiC unggul ing babagan iki, nyuda resiko retak utawa patah sing bisa nyebabake downtime sing larang.

Expansion Thermal Low kanggo Alignment Precise:Ekspansi termal minimal saka keramik SiC mesthekake yen Custom SiC Cantilever Paddle njaga stabilitas dimensi ing kisaran suhu sing akeh dialami sajrone operasi. Iki penting kanggo njaga keselarasan wafer sing tepat ing tungku, njamin pemanasan seragam lan profil difusi sing konsisten.