Dering Fokus Keramik kanggo Semikonduktor

Keramik Semicorex Kabring fokuss kanggo semikonduktor minangka solusi sing cocog kanggo kahanan operasi etsa plasma sing atos. Sajrone proses etsa semikonduktor sing canggih, penting kanggo ngontrol distribusi plasma kanthi tepat, sing bisa njamin stabilitas kamar etsa lan keseragaman etsa semikonduktor sing konsisten. Minangka komponen indispensable digunakake ing peralatan etching majeng, ring fokus biasane dipanggonke watara wafers semikonduktor lan teka menyang kontak langsung karo wong-wong mau. Kinerja dering fokus nduwe pengaruh langsung marang proses pengulangan, asil produk, lan wektu aktif peralatan.

Kauntungan saka cincin fokus keramik Semicorex kanggo semikonduktor

1. kemurnian materi Ultra-dhuwur

Kemurnian kitaCVD SiCmateri ngluwihi 99,9995%. Iki bisa kanthi efektif nyegah kontaminasi kamar etsa lan wafer semikonduktor sing disebabake dening kemurnian materi sing ora cukup.

2. resistance karat ngédap

Dering fokus keramik semicorex kanggo semikonduktor digawe saka CVD SiC, kanthi resistensi sing apik banget kanggo oksidasi, erosi, lan korosi kimia, sing efektif banget nglawan gas proses kayata HF lan HCI, uga gas plasma.

3. kinerja resistance Superior

Keseragaman resistensi cincin fokus keramik Semicorex kanggo semikonduktor kurang saka 5%.

Range resistivity: Low Res. (<0,02 Ω·cm), Res. (0.2–25 Ω·cm), Dhuwur Res. (> 100 Ω·cm).

Fungsi cincin fokus keramik Semicorex kanggo semikonduktor

1.Control lan uniformize medan listrik pinggiran lan distribusi plasma

Cincin fokus keramik Semicorex kanggo semikonduktor bisa ngontrol distribusi medan listrik ing njero ruangan etsa lan entuk sarung plasma sing luwih seragam ing sekitar wafer semikonduktor, saéngga plasma bisa nyerang permukaan wafer kanthi cara vertikal lan seragam. Kanthi cara iki, efek pinggiran etsa bisa dikurangi lan presisi etsa bisa ditingkatake kanthi signifikan.

2. Nglindhungi chuck elektrostatik

Tanpa pangayoman dering fokus ing proses etsa, chuck elektrostatik bakal kapapar bombardment lan erosi plasma energi dhuwur. Chucks elektrostatik digawe saka bahan larang regane kanthi biaya panggantos sing dhuwur banget. Nggunakake dering fokus kanthi efektif bisa ngedhunake karat plasma ing chuck elektrostatik lan nyuda biaya pangopènan lan panggantos saka chuck elektrostatik.