Batch Wafer Boat

Semicorex nyedhiyakake prau wafer, pedestal, lan operator wafer khusus kanggo konfigurasi vertikal / kolom lan horisontal. Kita wis dadi produsen lan supplier film lapisan silikon karbida sajrone pirang-pirang taun. Batch Wafer Boat kita duwe kauntungan rega sing apik lan nutupi sebagian besar pasar Eropa lan Amerika. We look nerusake kanggo dadi partner long-term ing China.

Kirim Pitakonan

Deskripsi Produk

Semicorex Batch Wafer Boat digawe saka bahan keramik silikon karbida berkualitas tinggi kanggo ketahanan kimia sing unggul lan stabilitas termal.
Batch Wafer Boat kita nduweni permukaan sing mulus lan nyedhiyakake dhukungan lan perlindungan wafer sing apik sajrone proses. Lapisan SiC njamin keseragaman lan stabilitas sajrone proses, nglindhungi wafer saka kontaminasi lan karusakan. Kanthi konduktivitas termal sing apik lan kekuatan mekanik sing unggul, wafer wafer kita nyedhiyakake asil sing konsisten lan dipercaya.
Tim ahli kita setya nyedhiyakake kualitas lan layanan sing paling apik. Kita nawakake desain khusus kanggo nyukupi kabutuhan khusus sampeyan, lan kapal wafer batch didhukung dening program jaminan kualitas.

Parameter Batch Wafer Boat

Properti Teknis
Indeks	Unit	Nilai
Jeneng Material		Reaksi Sintered Silicon Carbide	Sintered Silicon Carbide Tanpa Tekanan	Silicon Carbide Recrystallized
Komposisi		RBSiC	SSiC	R-SiC
Akeh Kapadhetan	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2.60-2.70
Kekuatan lentur	MPa (kpsi)	338(49)	380(55)	80-90 (20°C)90-100(1400°C)
Kekuwatan Kompresi	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Kekerasan	Knoop	2700	2800	/
Breaking Tenacity	MPa m1/2	4.5	4	/
Konduktivitas termal	W/m.k	95	120	23
Koefisien Ekspansi Termal	10^-6.1/°C	5	4	4.7
Panas spesifik	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Suhu maksimal ing udhara	℃	1200	1500	1600
Modulus elastik	Gpa	360	410	240

Bentenipun antarane SSiC lan RBSiC:

1. Proses sintering beda. RBSiC kanggo infiltrate Si free menyang silikon karbida ing suhu kurang, SSiC kawangun dening shrinkage alam ing 2100 derajat.

2. SSiC duwe permukaan sing luwih alus, kapadhetan sing luwih dhuwur lan kekuatan sing luwih dhuwur, kanggo sawetara sealing kanthi syarat permukaan sing luwih ketat, SSiC bakal luwih apik.

3. Wektu digunakake beda ing PH lan suhu beda, SSiC luwih saka RBSiC

Fitur Batch Wafer Boat

- Kekuwatan dhuwur (kekerasan Mohs 9.5, mung kaping pindho kanggo berlian)
- Tahan korosi kanggo asam, alkali, uyah lan pelarut organik
- Konduktivitas termal sing dhuwur, resistensi plasma, umur dawa
- Semikonduktor