Semicorex nyedhiyakake prau wafer, pedestal, lan operator wafer khusus kanggo konfigurasi vertikal / kolom lan horisontal. Kita wis dadi produsen lan supplier film lapisan silikon karbida sajrone pirang-pirang taun. Batch Wafer Boat kita duwe kauntungan rega sing apik lan nutupi sebagian besar pasar Eropa lan Amerika. We look nerusake kanggo dadi partner long-term ing China.
Semicorex Batch Wafer Boat digawe saka bahan keramik silikon karbida berkualitas tinggi kanggo ketahanan kimia sing unggul lan stabilitas termal.
Batch Wafer Boat kita nduweni permukaan sing mulus lan nyedhiyakake dhukungan lan perlindungan wafer sing apik sajrone proses. Lapisan SiC njamin keseragaman lan stabilitas sajrone proses, nglindhungi wafer saka kontaminasi lan karusakan. Kanthi konduktivitas termal sing apik lan kekuatan mekanik sing unggul, wafer wafer kita nyedhiyakake asil sing konsisten lan dipercaya.
Tim ahli kita setya nyedhiyakake kualitas lan layanan sing paling apik. Kita nawakake desain khusus kanggo nyukupi kabutuhan khusus sampeyan, lan kapal wafer batch didhukung dening program jaminan kualitas.
Parameter Batch Wafer Boat
Properti Teknis |
||||
Indeks |
Unit |
Nilai |
||
Jeneng Material |
Reaksi Sintered Silicon Carbide |
Sintered Silicon Carbide Tanpa Tekanan |
Recrystallized Silicon Carbide |
|
Komposisi |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
Kapadhetan Bulk |
g/cm3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2.60-2.70 |
Kekuatan lentur |
MPa (kpsi) |
338(49) |
380(55) |
80-90 (20°C) 90-100(1400°C) |
Kekuwatan kompresif |
MPa (kpsi) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
Kekerasan |
Tombol |
2700 |
2800 |
/ |
Breaking Tenacity |
MPa m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Konduktivitas termal |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
Koefisien Ekspansi Termal |
10-6.1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
Panas spesifik |
Joule/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Suhu maksimal ing udhara |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Modulus elastik |
Gpa |
360 |
410 |
240 |
Bentenipun antarane SSiC lan RBSiC:
1. Proses sintering beda. RBSiC kanggo infiltrate Si free menyang silikon karbida ing suhu kurang, SSiC kawangun dening shrinkage alam ing 2100 derajat.
2. SSiC duwe permukaan sing luwih alus, kapadhetan sing luwih dhuwur lan kekuatan sing luwih dhuwur, kanggo sawetara sealing kanthi syarat permukaan sing luwih ketat, SSiC bakal luwih apik.
3. Wektu digunakake beda ing PH lan suhu beda, SSiC luwih saka RBSiC
Fitur Batch Wafer Boat
- Kekuwatan dhuwur (kekerasan Mohs 9.5, mung kaping pindho kanggo berlian)
- Tahan korosi kanggo asam, alkali, uyah lan pelarut organik
- Konduktivitas termal sing dhuwur, resistensi plasma, umur dawa
- Semikonduktor