1x2" Graphite Wafer Susceptors

Ing fabrikasi wafer semikonduktor, lapisan epitaxial dibutuhake kanggo ditanam ing substrat wafer kanggo fabrikasi piranti semikonduktor sabanjure. Amarga proses pertumbuhan epitaxial sensitif banget marang fluktuasi suhu lan kontaminasi, pilihan sing bisa dipercaya.wafer susceptorssing kritis penting. Minangka bagean pendukung sing penting ing proses epitaxial wafer, presisi mesin, kemampuan manajemen termal, lan kinerja resistensi kontaminasi minangka faktor penting kanggo nggayuh pertumbuhan epitaxial wafer sing berkualitas.

Fungsi Semicorex 1x2" susceptor wafer grafit

Digawe saka gandum ultra-apik, grafit kemurnian dhuwur minangka matriks kanthi lapisan silikon karbida sing padhet liwat proses khusus, susceptor wafer grafit Semicorex 1x2" nyedhiyakake fungsi ing ngisor iki:

1.Secure lan Stale nyekeli

Semicorex 1x2"grafitsusceptors wafer fitur mesin tliti lan perawatan, ngirimke flatness lumahing ngédap lan akurasi dimensi. Iki mesthekake yen dheweke diamanake kanthi kuat ing posisi sing cocog lan nyedhiyakake platform dhukungan sing rata lan stabil kanggo pertumbuhan epitaxial wafer.

2. Distribusi Panas Seragam Presisi

Kanthi konduktivitas termal sing apik saka grafit lan bahan SiC, Semicorex 1x2" susceptor wafer grafit nyedhiyakake distribusi panas kanthi cepet lan seragam ing inti semikonduktor. Kanthi nyilikake gradien suhu, Semicorex 1x2" susceptor wafer grafit bisa kanthi efektif ngindhari masalah kaya kualitas epitaxial sing ora rata lan konsentrasi stres.

Keuntungan saka lapisan silikon karbida Semicorex

1. resistance karat Superior

Ditutupi karo lapisan silikon karbida sing padhet, susceptor wafer grafit Semicorex 1x2" kanthi efektif tahan kanggo bahan kimia mayoritas, cocok kanggo aplikasi ing kahanan operasi sing korosif banget ing ngendi materi kasebut kerep kena gas korosif lan uap kimia.

2. Low partikel shedding

Semicorexlapisan silikon karbidanduweni kekuatan ikatan sing dhuwur karo matriks grafit, sing bisa nyegah risiko kontaminasi substrat amarga detasemen lapisan amarga karat lan kejatuhan partikel sing disebabake dening lingkungan korosi dhuwur.

3. urip layanan Reliable

Sanajan matriks grafit nuduhake stabilitas termal lan kekuatan mekanik sing apik, rentan kanggo korosi lan pulverisasi ing kahanan operasi proses epitaxial, nyuda umur matriks grafit sing ora dilapisi. Kanthi encapsulating matriks grafit kanthi lapisan SiC sing padhet, susceptor wafer grafit 1 × 2" entuk daya tahan sing unggul lan dipercaya.

Data materi saka Semicorex SiC Coating