Lapisan SiC minangka lapisan tipis ing susceptor liwat proses deposisi uap kimia (CVD). Bahan silikon karbida nyedhiyakake sawetara kaluwihan tinimbang silikon, kalebu 10x kekuatan medan listrik sing rusak, 3x jurang band, sing nyedhiyakake materi kanthi suhu dhuwur lan tahan kimia, tahan nyandhang sing apik uga konduktivitas termal.
Semicorex nyedhiyakake layanan khusus, mbantu sampeyan nggawe inovasi karo komponen sing tahan suwe, nyuda wektu siklus, lan nambah asil.
Lapisan SiC duwe sawetara kaluwihan unik
Resistance Suhu Dhuwur: susceptor dilapisi CVD SiC bisa tahan suhu dhuwur nganti 1600 ° C tanpa ngalami degradasi termal sing signifikan.
Ketahanan Kimia: Lapisan karbida silikon menehi resistensi banget kanggo macem-macem bahan kimia, kalebu asam, alkali, lan pelarut organik.
Ketahanan Wear: Lapisan SiC nyedhiyakake materi kanthi resistensi nyandhang sing apik banget, saengga cocog kanggo aplikasi sing nyandhang nyandhang lan rusak.
Konduktivitas Termal: Lapisan CVD SiC nyedhiyakake materi kanthi konduktivitas termal sing dhuwur, saengga bisa digunakake ing aplikasi suhu dhuwur sing mbutuhake transfer panas sing efisien.
Kekuwatan lan Kaku Dhuwur: Susceptor dilapisi silikon karbida nyedhiyakake materi kanthi kekuatan lan kaku sing dhuwur, saengga cocok kanggo aplikasi sing mbutuhake kekuatan mekanik sing dhuwur.
Lapisan SiC digunakake ing macem-macem aplikasi
Manufaktur LED: Susceptor dilapisi CVD SiC digunakake ing manufaktur sing diproses saka macem-macem jinis LED, kalebu LED biru lan ijo, LED UV lan LED UV jero, amarga konduktivitas termal sing dhuwur lan tahan kimia.
Komunikasi seluler: susceptor dilapisi CVD SiC minangka bagean penting saka HEMT kanggo ngrampungake proses epitaxial GaN-on-SiC.
Pengolahan Semikonduktor: Susceptor dilapisi CVD SiC digunakake ing industri semikonduktor kanggo macem-macem aplikasi, kalebu pangolahan wafer lan pertumbuhan epitaxial.
Komponen grafit sing dilapisi SiC
Digawe dening Silicon Carbide Coating (SiC) grafit, lapisan iki Applied dening cara CVD kanggo gelar tartamtu saka dhuwur Kapadhetan grafit, supaya bisa operate ing tungku suhu dhuwur karo liwat 3000 °C ing atmosfer inert, 2200 °C ing vakum .
Sifat khusus lan massa bahan sing kurang ngidini tingkat pemanasan sing cepet, distribusi suhu seragam lan presisi sing luar biasa ing kontrol.
Data materi saka Semicorex SiC Coating
Sifat khas |
Unit |
Nilai |
Struktur |
|
Fase β FCC |
Orientasi |
Fraksi (%) |
111 disenengi |
Kapadhetan akeh |
g/cm³ |
3.21 |
Kekerasan |
kekerasan Vickers |
2500 |
Kapasitas panas |
J kg-1 K-1 |
640 |
Ekspansi termal 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Modulus Muda |
Gpa (4pt bend, 1300 ℃) |
430 |
Ukuran gandum |
μm |
2~10 |
Suhu Sublimasi |
℃ |
2700 |
Kekuwatan Felexural |
MPa (RT 4-titik) |
415 |
Konduktivitas termal |
(W/mK) |
300 |
Kesimpulan susceptor dilapisi CVD SiC minangka bahan komposit sing nggabungake sifat susceptor lan silikon karbida. Materi iki nduweni sifat unik, kalebu tahan suhu lan kimia sing dhuwur, resistensi nyandhang sing apik, konduktivitas termal sing dhuwur, lan kekuatan lan kaku sing dhuwur. Properti kasebut nggawe bahan sing menarik kanggo macem-macem aplikasi suhu dhuwur, kalebu pangolahan semikonduktor, pangolahan kimia, perawatan panas, manufaktur sel surya, lan manufaktur LED.
Semicorex SiC Parts Abdeck Segmenten, komponèn wigati ing manufaktur piranti semikonduktor sing redefines tliti lan daya tahan. Digawe saka grafit sing dilapisi SiC, bagean cilik nanging penting iki nduweni peran penting kanggo ningkatake proses semikonduktor menyang tingkat efisiensi lan linuwih anyar.
Waca liyaneKirim PitakonanSemicorex Planetary Disk, susceptor wafer wafer silikon karbida utawa pembawa sing dirancang kanggo proses Molecular Beam Epitaxy (MBE) ing tungku Metal-Organic Chemical Vapor Deposition (MOCVD). Semicorex setya nyedhiyakake produk kualitas kanthi rega sing kompetitif, kita ngarepake dadi mitra jangka panjang ing China.
Waca liyaneKirim PitakonanMbukak puncak presisi ing manufaktur semikonduktor kanthi CVD SiC Pancake Susceptor sing canggih. Komponen berbentuk cakram iki, dirancang kanthi ahli kanggo peralatan semikonduktor, dadi unsur penting kanggo ndhukung wafer semikonduktor tipis sajrone proses deposisi epitaxial suhu dhuwur. Semicorex setya nyedhiyakake produk kualitas kanthi rega sing kompetitif, kita ngarepake dadi mitra jangka panjang ing China.
Waca liyaneKirim PitakonanNingkatake kemampuan lan efisiensi peralatan semikonduktor kanthi Komponen SiC Semikonduktor terobosan kanggo Epitaxial. Komponen semi-silinder iki dirancang khusus kanggo bagean asupan reaktor epitaxial, sing nduweni peran penting kanggo ngoptimalake proses manufaktur semikonduktor. Semicorex setya nyedhiyakake produk kualitas kanthi rega sing kompetitif, kita ngarepake dadi mitra jangka panjang ing China.
Waca liyaneKirim PitakonanNingkatake fungsi lan efisiensi piranti semikonduktor sampeyan nganggo Bagian Epitaxial Produk Drum Setengah Bagian sing canggih. Dirancang khusus kanggo komponen intake reaktor LPE, aksesori semi-silinder iki nduweni peran penting kanggo ngoptimalake proses semikonduktor sampeyan.
Semicorex setya nyedhiyakake produk kualitas kanthi rega sing kompetitif, kita ngarepake dadi mitra jangka panjang ing China.
Semicorex Second Parts for Lower Baffles in Epitaxial Process, komponen sing direkayasa kanthi tliti sing dirancang kanggo ngowahi revolusi kinerja piranti semikonduktor sampeyan. Dicocogake khusus kanggo sistem asupan reaktor LPE, fitting semi-silinder iki nduweni peran penting kanggo ningkatake proses pertumbuhan epitaxial. Semicorex setya nyedhiyakake produk kualitas kanthi rega sing kompetitif, kita ngarepake dadi mitra jangka panjang ing China.
Waca liyaneKirim Pitakonan