Sic paddles

Paddles Sik Semikoreks minangka wafer "operator," Njupuk Wafers menyang tungku sing luwih panas tinimbang 1000 derajat Celsius. Iki entuk manfaat utama: kemurnian sing dhuwur, stabilitas suhu dhuwur, kanggo njaga keturunan mekanik nalika ngeterake conto ing lingkungan sing ekstrem. Bahan murni dhuwur banget kanggo ngilangi impurities logam saka kontaminasi wafer; dadi uga stabilitas suhu dhuwur sakakarbida silikon, amarga bakal njaga stabilitas kimia ing proses pangolahan sing nyegah impuritas logam utawa partikel kanggo kontaminasi wafer, njamin ngasilake wafer sing stabil. Pungkasan,paddles cantileverUga kompatibel karo sistem transfer wafer terpadu, luwih nyuda katergantungan kanggo manungsa lan nambah throughput.

Paddles sic minangka komponen unik saka operator, khusus kanggo transportasi lan integrasi saka semikonduktor Wefload ing proses berbanak lan panyebaran suhu dhuwur, antara liya. Digawe kanthi kemurnian sing dhuwursilikon karbida (sic), paddles sic nyedhiyakake stabil termal, kekuwatan mekanik lan daya kencan kimia kanggo njamin transportasi stabil ing ndhuwur suhu 1000 ° c. Paddles sic dibutuhake kanggo pangolahan wafer: Iki bakal mesthekake yen substrat rapet bisa ditangani kanthi cocog nalika njaga integritas lan konsistensi ing saindhenging oksidasi, panyebaran, lan proses andharan.

Dirancang kanggo dipercaya lan dipercaya, paddles sic yaiku lengen jinis cantilever sing nyekel boat utawa tumpukan wafer. Paddle ndhukung wafers nalika lagi dilebokake utawa dicopot saka ruangan proses. Bahan konvensional gagal ing suhu sing dhuwur iki liwat ubah bentuk, warping, utawa kerusakan kimia. Stabilitas mekanik lan integritas struktural saka karbida silikon ngidini paddle kanggo urip kanthi pirang-pirang siklus termal tanpa ilang utawa fungsi. Kapabilitas iki penting kanggo njaga alignment tungku tungku, njamin wafers ora rusak sajrone proses kasebut, lan nyuda downtime sing larang.

Kestabilan termal sik sing dilengkapi karo resistensi kimia sing apik banget kanggo gas reaktif sing biasane ditampilake ing proses oksidasi lan ekspun, lan spesies agresif liyane ing suhu sing dhuwur). Akeh bahan sing bakal rusak utawa kontaminasi nalika kapapar suhu dhuwur lan oksigen. Karbida silikon kimia lan mikrostruktur kandhel mutusake manawa reaksi kimia ora bakal kedadeyan, nyedhiyakake integritas strukture strukture lan lingkungan sing resik kanggo wafer. Resiko asil kanggo kontaminasi disimpen kanthi minimal kanggo produsen semikonduktor sing makarya ing sawetara simpul proses sing paling maju sing malah nglacak unsur-ujung unsur kontaminasi bisa nyebabake owah-owahan sing signifikan ing kinerja piranti.

Integritas mekanik sing ana gandhengane karo paddles sic uga nyedhiyakake nilai kanggo nangani proses. Formulir struktural cantilever mbutuhake materi sing bisa nahan bobot lapisan lapisan lan ora lunyu utawa sag. Modulus sing dhuwur banget lan karet banget, nggawe pertimbangan apik kanggo fungsi struktural mekanik sing dibutuhake. Paddle SIC nahan kaloro flatness lan struktur sanajan dimuat karo wafers. Iki tegese kontrol tungku sing tetep ana ing kahanan sajrone wektu produksi dawa.