SiC Coated Graphite Tray

SiC ditutupi grafit tray minangka bagéan semikonduktor nglereni-pinggiran sing menehi substrat Si kontrol suhu tepat lan support stabil sak proses wutah epitaxial silikon. Semicorex tansah menehi prioritas utama kanggo panjaluk pelanggan, nyedhiyakake solusi komponen inti sing dibutuhake kanggo produksi semikonduktor berkualitas tinggi.

Kirim Pitakonan

Deskripsi Produk

Minangka komponèn utami saka peralatan epitaxial, ingSiC dilapisi grafit tray, langsung mengaruhi efisiensi produksi, keseragaman, lan tingkat cacat pertumbuhan lapisan epitaxial.

Liwat pemurnian grafit, pangolahan tliti lan perawatan reresik, permukaan substrat grafit bisa entuk rata lan lancar, kanthi sukses ngindhari risiko kontaminasi partikel. Liwat deposisi uap kimia, permukaan substrat grafit ngalami reaksi kimia karo gas reaktif, ngasilake lapisan silikon karbida (SiC) sing kandhel, bebas pori lan seragam kandel. Saka persiapan substrat nganti perawatan lapisan, kabeh proses produksi ditindakake ing kamar resik Kelas 100, sing cocog karo standar kebersihan sing cocog kanggo semikonduktor.

SiC ditutupi grafit tray kang digawe saka dhuwur-kemurnian grafit kurang impurity lan bahan SiC, wis konduktivitas termal banget lan koefisien kurang saka expansion termal. Ora mung ngaktifake tray grafit sing dilapisi SiC kanggo mindhah panas kanthi cepet lan seragam kanggo nambah kualitas pertumbuhan lapisan epitaxial, nanging uga kanthi efektif nyuda resiko lapisan shedding utawa retak amarga stres termal. Kajaba iku, lapisan SiC sing seragam lan padhet tahan kanggo suhu dhuwur, oksidasi lan karat, njamin operasi sing stabil kanggo wektu sing suwe ing kahanan gas sing suhu dhuwur lan korosif.

Baki grafit sing dilapisi SiC nduweni kompatibilitas sing luwih dhuwur karo peralatan deposisi uap kimia logam-organik (MOCVD). Wis ukuran tliti lan dirancang kanggo adaptasi karo paramèter proses lan syarat peralatan sing beda. Semicorex tansah ngeyel nawakake layanan khusus profesional kanggo pelanggan sing dihormati supaya bisa nyukupi kabutuhan kanthi ukuran, ketebalan lapisan lan kekasaran permukaan tray grafit sing dilapisi SiC.