SiC-Coated Epitaxial Susceptors

Susceptor epitaxial sing dilapisi Semicorex SiC minangka komponen penting sing digunakake ing proses pertumbuhan epitaxial semikonduktor kanggo ndhukung lan ndandani wafer semikonduktor kanthi stabil. Nggunakake kemampuan manufaktur sing diwasa lan teknologi produksi sing paling canggih, Semicorex setya nyedhiyakake kualitas sing unggul ing pasar lan susceptor epitaxial sing dilapisi SiC kanthi rega kompetitif kanggo para pelanggan sing dihargai.

Kirim Pitakonan

Deskripsi Produk

Semikonduktorsubstrateora bisa diselehake langsung ing basis ing MOCVD utawa peralatan CVD sak deposisi epitaxial amarga saka impact saka macem-macem faktor kritis, kalebu arah aliran gas (horisontal lan vertikal), suhu, meksa, fiksasi substrat, lan kontaminasi partikulat. Mulane, susceptor epitaxial kudu dipanggonke ing tengah kamar reaksi ing sistem MOCVD / CVD kanggo ndhukung lan ngamanake substrat semikonduktor, saéngga nyegah degradasi kualitas pertumbuhan epitaxial sing disebabake dening getaran utawa pamindahan posisi.

Grafit kemurnian dhuwur digunakake minangka bahan matriks kanggo SemicorexSusceptor epitaxial sing dilapisi SiC, kanthi lapisan silikon karbida disimpen ing permukaan kanthi teknik CVD sing canggih. Susceptor epitaxial sing dilapisi Semicorex SiC minangka komponen penting ing proses pembentukan lapisan epitaxial. Peran utama yaiku nyedhiyakake lingkungan operasi sing stabil lan bisa dikontrol kanggo pertumbuhan lapisan epitaxial ing substrat semikonduktor, sing bisa njamin konsistensi kualitas permukaan wafer.

Karakteristik susceptor epitaxial sing dilapisi Semicorex SiC

1. Resistance suhu dhuwur sing luar biasa kanggo tahan kondisi operasi 1600 ℃.

2. Konduktivitas termal sing dhuwur, ngirimake transfer panas kanthi cepet kanggo njaga distribusi suhu seragam ing substrat semikonduktor.

3. Resistance karat kimia sing kuwat kanggo nolak degradasi kimia lan karat, ngindhari kontaminasi proses substrat lan lapisan epitaxial.

4.Superior resistance kejut termal kanggo ngindhari kedadeyan saka lapisan retak lan delamination.

5. Flatness lumahing luar biasa, pas snugly kanggo landasan sing nyilikake kesenjangan lan cacat.

6. Urip layanan sing luwih dawa, nyuda wektu lan kerugian ekonomi sing disebabake dening panggantos lan pangopènan bagean.

Aplikasi saka susceptor epitaxial sing dilapisi Semicorex SiC

Kanthi macem-macem kaluwihan sing apik, susceptor epitaxial sing dilapisi Semicorex SiC nduweni peran penting kanggo nggampangake pertumbuhan film tipis epitaxial sing seragam lan bisa dikontrol lan digunakake kanthi akeh ing proses pertumbuhan epitaxial semikonduktor.

1. Tuwuh epitaxial GaN

2. SiC epitaxial wutah

3. Si wutah epitaxial