Tabung tungku kuarza

Tube Furniz Quicorex Quartz, Wefer Boats, Quarz Crucible kanggo Wutah Kristal Silicon Tunggal kabeh digawe saka kesucianKuarsa Material. Kuarsa digunakake ing industri semikonduktor, kuarsi sing dhuwur yaiku sing bisa digunakake kanggo pabrik wafer. Pasar target utama kuarza ing lapangan semikonduktor yaiku proses penyebaran lan etching ing fatrication wafer, bisa dipérang dadi rong kategori utama: bagean suhu dhuwur lan bagean suhu dhuwur.

1. Bagéan suhu 1High yaiku tabung tungku Quartz, sing duwe kapal, lan sapiturute, kudu langsung nggunakake bahan-lingkungan suhu sing dhuwur, diproduksi liwat proses termal.

2. Bagéan suhu sing ana ing proses kuarza ing proses etching, lan kalebu kaset, ngresiki tank reresik ing proses ngresiki. Digunakake utamane ing lingkungan suhu rendah, sing biasane digawe saka kaca kntz sing digulung, diprodhuksi liwat proses kadhemen.

Komponen ing zona suhu dhuwur dikonsumsi kanthi luwih cepet, nanging biasane digunakake ing sistem multi-wafer (siji operator sing nggunakake macem-macem wafers), nanging digunakake ing zona sing kurang-larang (siji operator sing duwe siji carrier sing duwe dhuwit lebur); Mula, ukuran pasar sakabehe kanggo loro sing padha.

Tungku minangka wilayah sing ana ing waferen sing ngalami proses pemanasan suhu dhuwur, kalebu dening tabung tungku Quartz, reaktor lan pirang-pirang pemanas, akeh ditrapake ing pangolahan semikonduktor. Tungku biasane dipérang dadi jinis horisontal lan vertikal :. Ing tungku horisontal, wafer diselehake ing kapal kwarsa, sing bakal dipasang ing operator SIC. Ana uga baffles adaptif ing ngarep lan mburi. Carrier ditarik menyang tabung tungku Quartz, lan wafer ngalami reaksi ing zona suhu sing tetep. Ing tungku vertikal, wafer dilebokake ing menara kuarza banjur alon-alon digedhekake menyang tabung tungku kuarza kanggo diproses.

Amarga suhu sing dhuwur ing proses ndhuwur, kanggo nyegah ubah bentuk tungku kuarza sawise nggunakake bola-bali lan tahan, tabung tungku kuarza sing tahan, lan duwe urip layanan sing dawa kudu digunakake sajrone produksi.

Mangkene kaluwihan sakaKuarsaTube tungku:

1. Rintangan suhu dhuwur. Kaca Kuarsa duwe titik lemes kira-kira 1730 ℃ lan bisa digunakake kanggo wektu sing dawa ing 1150, kanthi suhu maksimal jangka pendek tekan 1450 ℃.

2. Rintangan Korosi. Kajaba asam hidrofluoric, kuarz kanthi murni banget ditanggepi kimia karo bahan-bahan asam liyane. Ing suhu sing dhuwur, bisa tahan karat saka asam sulfat, asam nitrat, asam hidroklorik, aqua regia, uyah netral, karbon, lan belerang. Rintangan asam kasebut 30 kali sing keramik lan 150 kaping manawa baja stainless.  Stabilitas kimia, utamane ing suhu sing dhuwur, ora cocog karo materi teknik liyane.

3 .. stabil termal sing apik. Kuaresz sing dhuwur banget duwe kakehan ekspansi termal lan bisa nambah owah-owahan suhu drastrac.  Pemanasan kapinteran dhuwur nganti udakara 1100 lan banjur nyandhak ing banyu suhu kamar ora bakal nyebabake shatter.

4 .. kinerja transmisi cahya sing apik. Kuarsa-murni dhuwur duwe kinerja transmisi cahya sing apik ing kabeh spektrum saka sinar ultraviolet kanggo inframerah. Transmisi sing katon ing ndhuwur 93%, lan ing spektrum ultraviolet, transmisi maksimal bisa tekan luwih saka 80%.

5. Kinerja penebat listrik sing apik. Kemampuan saka kwartes sing paling dhuwur yaiku sepuluh ewu kaping quarz biasa, dadi materi insulasi listrik sing apik banget sanajan ing suhu sing dhuwur.