Cincin fokus awet Semicorex kanggo pangolahan semikonduktor dirancang kanggo tahan lingkungan ekstrem saka kamar etch plasma sing digunakake ing pangolahan semikonduktor. Cincin fokus kita digawe saka grafit kemurnian dhuwur sing dilapisi karo lapisan silikon karbida (SiC) sing padhet lan tahan nyandhang. Lapisan SiC nduweni sifat korosi lan tahan panas sing dhuwur, uga konduktivitas termal sing apik banget. Kita ngetrapake SiC ing lapisan tipis menyang grafit kanthi nggunakake proses deposisi uap kimia (CVD) kanggo nambah umur layanan dering fokus.
Waca liyaneKirim Pitakonan