Perahu Grafit Surya PECVD

SemicorexPerahu grafit surya PECVDpresisi digawe saka kemurnian dhuwurgrafit isostatik. Saben prau grafit solar PECVD saka Semicorex ngalami mesin sing tepat, inspeksi dimensi, lan uji kinerja listrik kanggo njamin kinerja sing stabil ing lingkungan plasma suhu dhuwur.

Sajrone pangolahan PECVD, prau grafit solar PECVD nggawa wafer silikon menyang kamar reaksi PECVD lan dadi elektroda sing disambungake menyang sumber daya RF. Nalika voltase gantian ditrapake ing antarane piring kapal sing cedhak, lapangan listrik digawe. Ing pengaruh medan listrik, gas reaktif (kayata silane SiH₄ lan amonia NH₃) ngalami discharge cemlorot lan ngasilake plasma. Ion lan radikal bebas ing plasma ngurai gas prekursor, mbentuk ion silikon (Si) lan nitrogen (N). Ion-ion iki gabung dadi molekul silikon nitrida (Si₃N₄), sing banjur disimpen ing permukaan wafer silikon kanggo mbentuk film tipis.

1. stabilitas termal ngédap

Kanthi koefisien ekspansi termal sing cedhak karo wafer silikon, SemicorxPerahu grafit surya PECVDngalami owah-owahan dimensi sing bisa diabaikan nalika dadi panas, sing bisa ngindhari karusakan sing disebabake stres termal ing wafer.

2. Konduktivitas listrik lan termal sing unggul

Prau grafit solar Semicorex PECVD nduweni konduktivitas listrik sing apik banget, njamin konduksi cepet arus RF lan distribusi medan listrik seragam, sing migunani kanggo generasi plasma stabil lan deposisi wafer silikon seragam. Kajaba iku, konduktivitas termal sing unggul nggampangake pendinginan lan pemanasan kanthi cepet, ningkatake efisiensi produksi nalika nyegah overheating lokal ora mengaruhi kualitas deposisi.

3. Stabilitas kimia sing kuwat

Thanks kanggo nggunakake bahan premium-bahan, Semicorex PECVD solar prau grafit kurang rentan kanggo reaksi karo gas reaktif lan plasma. Karakteristik iki sacara signifikan nyegah distribusi medan listrik sing ora rata sing disebabake dening karat, deformasi, utawa deposisi impurity ing prau grafit, saéngga njamin stabilitas proses deposisi lan kualitas permukaan wafer silikon.

4. kekuatan mechanical pinunjul

Kanthi kekuatan mekanik sing luar biasa, Semicorex PECVD solar grafit prau bisa kanthi gampang nangani bobot wafer volume dhuwur. Padha bisa tahan kaku mechanical kui sak loading lan transportasi kanggo dangu tanpa gampang deforming utawa bejat.

5. Konsistensi dimensi sing apik banget

Prau grafit solar Semicorex PECVD entuk akurasi dimensi sing luar biasa ing kabeh komponen liwat mesin presisi. Iki njaga wafer silikon ing posisi tetep sajrone deposisi, sing njamin deposisi seragam lan kompatibilitas karo produksi otomatis.