PBN Cincin

Pemanas pemanas komprangan semikoreks PBN nggabungake konduktivitas termal saka pyrolyptivity sing apik karo inertness kimia lan penebat listrik boron nitride. Pemanas iki dibangun saka grafit kemurnian sing dhuwur banget lan PBN sing ditrapake kanthi nggunakake CVD bermutu (proses uap kimia) ing kahanan pemenerangan babagan murni. Saben lapisan prestasi individu wis disimpen kanthi Kontrak banget kanggo njamin kesucian ultra-dhuwur lan sifat termal sing konsisten. Inti grafit, sing nyedhiyakake pemanasan sing cepet lan seragam ing saindenging, dilindhungi saka oksidasi lan kontaminasi dening kapsul PBN; Iki nggawe pemanas sing cocog kanggo lingkungan busum vakum lan lingkungan gas lingkungan. PBN pemanas iki kanthi sengaja dirancang kanggo nggunakake MBE (Molekuler Epitexy) Reactors, Reaktor CVD, lan sistem pertumbihan kristal liyane.

PyRolytik Boron Nitride-Pyiliky-Pyilikon (PBN-PG) Pemanas sing dadi pemanas sing nggunakake PBN insulasi dhuwur amarga tekanan rendah (ing ngisor 10Torr) lan nggunakake suhu sing dhuwur kanggo nempelake pg konduksi. Komponen utama pemanas komposit iki yaiku Pyrolytic Boron Nitride (PBN) lan graisit (PG). Amarga resistansi karat korous lan resistensi suhu sing apik banget, utamane digunakake kanggo pemanasan semikonduktor (digunakake ing MBE, MOCVD, lapisan sputtering, lsp); pemanasan superconbuctor conto pemanasan sajrone analisis sampel; pemanasan mikroskop elektron; pemanasan logam; Sumber pemanasan logam, lsp.

PBN PBN bisa tahan suhu operasi nganti 1600 ° C ing vakum lan duwe kemampuan sing apik kanggo tahan kejut termal kanthi alternatif. Lumahing pemanas arang banget lancar lan kandhel lan ngasilake partikel sing kurang sajrone operasi sing kritis kanggo aplikasi ing ngendi kontaminasi ora bisa ditindhes kayata pangolahan wafer umum.

Struktur komposit nyedhiyakake keseragaman termal sing apik ing permukaan pemanas, lan dalan sing ditahan bisa disesuaikan kanggo ngidini distribusi panas sing disesuaikan. Desain iki ndadekake siklus ramp-up kanthi cepet lan cooldown nalika diproses tanpa retak lan delaminating amarga koefisien ekspansi termal sing padha. Elektron kasebut bisa tahan operasi saiki lan uga kompatibel ing vakum.

Semikoreks nyedhiyakake fleksibilitas desain kanggo bentuk sing ora ana kanggo bentuk unik, ukuran lan syarat sing kudu ditindakake yen perlu, kanggo nyukupi kabutuhan aplikasi khusus; Apa kanggo ukuran wafer standar, utawa geometri sing luwih kompleks, kita njamin akurasi dimensi lan keseragaman termal ing saben unit sing diasilake.

Pemanas komposit PBN pancen cocog kanggo aplikasi ultra-resik, kalebu:

• Sistem MBE kanggo komposisi semikonduktor senyik III-V lan V lan VI lan VI-V lan Vi-Vi
• Sistem lapisan vakum kanggo komponen optik
• Sistem pertumbuhan kristal kanggo sapir lan sic
• Pangolahan termal dhuwur kanggo lingkungan label riset lan pangembangan.