Susceptor grafit minangka salah sawijining bagean penting ing peralatan MOCVD, yaiku operator lan pemanas substrat wafer. Sifat-sifat stabilitas termal lan keseragaman termal nduweni peran penting ing kualitas pertumbuhan epitaxial wafer, sing langsung nemtokake keseragaman lan kemurnian bahan lapis......
Waca liyaneIng lapangan voltase dhuwur, utamane kanggo piranti voltase dhuwur ing ndhuwur 20,000V, teknologi epitaxial SiC isih ngadhepi sawetara tantangan. Salah sawijining kesulitan utama yaiku nggayuh keseragaman, ketebalan, lan konsentrasi doping sing dhuwur ing lapisan epitaxial. Kanggo nggawe piranti vol......
Waca liyane