Bedane struktur antarane macem-macem jinis reaktor

Adhedhasar konfigurasi kamar reaksi, peralatan perawatan panas (peralatan tabung tungku) utamane dipérang dadi telung kategori: tabung tungku vertikal, tabung tungku horisontal, lan tungku pangolahan termal kanthi cepet (RTP).

Tabung tungku vertikal duwe tabung kuarsa sing disusun kanthi vertikal, kanthi wafer diselehake ing sekitar tabung kanggo pemanasan. Kaluwihan utama yaiku distribusi suhu seragam, kontrol atmosfer sing tepat, otomatisasi dhuwur, kontaminasi partikel sing kurang, tapak cilik, lan dhukungan kanggo pangolahan batch (utamane cocog kanggo wafer 12 inci), nggawe peralatan utama saiki kasedhiya. Ukuran pasar global tekan $ 3.2 milyar ing 2024 (data SEMI). Kerugian kasebut kalebu pemisahan gas-cair sing gampang, lan aliran mudhun medium sing bisa nyebabake tabung tungku kobong.

Tabung tungku horisontal duwe tabung kuarsa kanthi horisontal, ngolah 100-200 wafer sekaligus. Kaluwihan kasebut kalebu aliran gas-cair sing seragam ing tabung tungku lan kontrol suhu sing luwih tepat. Kerugian kasebut kalebu tilas sing luwih gedhe lan konsumsi sing luwih dhuwur saka dhukungan tabung perantara baja paduan dhuwur. Secara struktural, tabung tungku horisontal nyelehake wafer kanthi vertikal ing tabung horisontal kanggo diproses.

Rapid thermal annealing (RTP) furnaces nggunakake lampu infra merah halogen kanggo panas wafer siji kanthi cepet, nawakake panas cepet lan cooling tarif sing mung ngganti suhu wafer tanpa ngganti suhu kamar. Padha cocok kanggo anil cepet batch cilik nanging ora kanggo produksi massal.

Ing pangolahan wafer, tabung tungku horisontal nyelehake wafer ing prau kuarsa, sing banjur ana ing pigura dhukungan silikon karbida (SiC). Pigura dhukungan banjur didorong menyang tabung tungku kuarsa, ing ngendi wafer ngalami reaksi ing zona suhu konstan. Tabung tungku vertikal, ing sisih liya, nyelehake wafer ing menara kuarsa lan alon-alon munggah menyang tabung tungku kuarsa kanggo diproses. Sawise reaksi, wafer alon-alon diturunake kanggo nyegah mlengkung utawa pecah.

Semicorex nyedhiyakake kualitas sing disesuaikanreaktor tungku kuarsa. Produk kita dirancang kanggo nyedhiyakake stabilitas termal sing unggul, umur layanan sing luwih dawa, lan konsistensi proses sing luar biasa. Kanggo solusi khusus utawa informasi teknis tambahan, hubungi tim teknik kita.

Telpon: +86-13567891907

Email: sales@semicorex.com