Ngerti Cantilever Paddle

Sajrone pangolahan, wafer semikonduktor biasane kudu dipanasake ing tungku khusus. Tungku kuwi biasane kasusun saka tabung silinder sing dawa lan tipis. Wafer dipanggonke ing tungku lan reaktor kanthi cara sing disusun ing sadawane bidang sing ditemtokake dening bagean salib bunder saka tungku utawa reaktor lan dipisahake ing titik sing wis ditemtokake, biasane padha, ing sadawane sumbu tengah. tungku utawa reaktor. Kanggo nggayuh posisi iki, wafer biasane diselehake ing wadhah slotted, sing diarani wafer boats, sing nyelehake wafer ing konfigurasi jarak sing didadekake siji ing sumbu tengah.

Prau cilik sing ngemot wafer sing bakal diproses dilebokake ing paddle cantilever sing dawa ing ngendi tungku lan reaktor tubular bisa dilebokake lan ditarik. Paddles kuwi biasane kalebu bagean operator warata kang siji utawa luwih prau cilik bisa diselehake, lan gagang dawa, dumunung ing salah siji mburi bagean operator flat, kang paddles bisa ditangani. Bagean transisi biasane dibentuk ing antarane gagang lan bagean operator kanggo nggawe kabeh. Kajaba iku, gagang kudu metu saka tungku utawa reaktor supaya kapal wafer bisa dimanipulasi.

Posisi kapal wafer ing tungku utawa reaktor penting amarga kudu dilebokake ing tengah saben wafer kanthi cedhak karo sumbu tengah tungku utawa reaktor kanggo entuk kondisi pangolahan seragam sing ditrapake wafer. Mulane, mlengkung dayung sing disebabake bobote kapal sing nggawa wafer kudu dianggep ing desain paddle, utamane amarga paddle didhukung mung ing siji ujung, yaiku, ujung sing metu saka ruang tungku. Saliyane nimbang desain paddle asil saka syarat bobot operasional, pesawat saka Clamps dirancang kanggo sabenere terus mburi lengkap paddle ing posisi uga kudu digunakake. Clamps iki kudu cukup kuat kanggo njaga paddle ing posisi sing dikarepake nalika gampang digunakake lan nyuda kemungkinan karusakan ing paddle sajrone clamping.

Mulane, paddle cantilever dibutuhake sing bisa digunakake kanthi beban sing luwih abot nalika tetep kompatibel karo sistem clamping sing ana. Ana uga perlu kanggo paddle cantilever sing mameraken ciri deflection ditrima liwat kabeh sawetara beban bobot bisa digunakake karo.

Ing cpaddle antilever dianjurake kanggo nggunakake karbida silikon recrystallized karo lapisan lancip CVD SiC, kang kemurnian dhuwur lan pilihan sing paling apik kanggo komponen ing Processing semikonduktor.

Semicorex bisa nyedhiyakakekualitas dhuwurkantilever dayunglanlayanan khusus miturut gambar lan lingkungan kerja.