Apa iku SOI

Silicon-on-insulator (SOI) diakoni minangka salah sawijining solusi kanggo ngganti bahan silikon monokristalin sing ana ing jaman nanoteknologi lan minangka alat utama kanggo njaga tren Hukum Moore. Silicon-on-insulator, teknologi substrat sing ngganti silikon substrat massal tradisional karo substrat "direkayasa", wis digunakake luwih saka 30 taun ing aplikasi khusus kayata sistem elektronik militer lan ruang angkasa, ing ngendi SOI nduweni kaluwihan unik amarga apik banget. resistance radiation lan karakteristik kacepetan dhuwur.

Materi SOI minangka dhasar pangembangan teknologi SOI, lan pangembangan teknologi SOI gumantung marang kemajuan materi SOI sing terus-terusan. Kurange bahan SOI sing murah lan berkualitas wis dadi kendala utama teknologi SOI kanggo mlebu produksi industri skala gedhe. Ing taun-taun pungkasan, kanthi kedewasaan teknologi persiapan materi SOI, masalah materi sing mbatesi pangembangan teknologi SOI mboko sithik ditanggulangi, sing pungkasane kalebu rong jinis teknologi persiapan bahan SOI, yaiku, implantasi Speration-by-oxygen (SIMOX). lan teknologi ikatan. Teknologi ikatan kasebut kalebu teknologi Bond and Etch back (BESOI) tradisional lan teknologi Smart-cut sing nggabungake injeksi ion hidrogen lan ikatan sing diusulake dening M. Bruel, salah sawijining pendiri SOITEC ing Prancis, uga gabungan persiapan materi Simbond SOI. isolasi oksigen lan ikatan ngajokaken dening Dr. Meng Chen ing 2005. Teknologi anyar nggabungke isolasi injeksi oksigen lan iketan.