Polishing lumahing wafer Silicon

wafer silikonpolishing lumahing minangka proses wigati ing manufaktur semikonduktor. Tujuan utamane yaiku kanggo nggayuh standar rata lan kasar permukaan sing dhuwur banget kanthi ngilangi cacat mikro, lapisan karusakan stres, lan kontaminasi saka impurities kayata ion logam. Iki njamin singwafer silikonnyukupi syarat persiapan kanggo piranti mikroelektronik, kalebu sirkuit terpadu (IC).

Kanggo njamin akurasi polishing, ingwafer silikonproses polishing bisa diatur dadi loro, telu, utawa malah papat langkah béda. Saben langkah nggunakake kahanan pangolahan sing beda-beda, kalebu tekanan, komposisi cairan polishing, ukuran partikel, konsentrasi, nilai pH, bahan kain polishing, struktur, kekerasan, suhu, lan volume pangolahan.

Tahap umum sakawafer silikonpolishing minangka nderek:

1. ** Atos Polishing **: Tahap iki yakuwi kanggo mbusak lapisan karusakan kaku mechanical kiwa ing lumahing saka Processing sadurunge, nampa akurasi dimensi geometris dibutuhake. Volume pangolahan kanggo polishing kasar biasane ngluwihi 15-20μm.

2. ** Fine Polishing **: Ing tataran iki, flatness lokal lan roughness saka lumahing wafer Silicon luwih nyilikake kanggo mesthekake kualitas lumahing dhuwur. Volume pangolahan kanggo polishing alus watara 5-8μm.

3. ** "Defogging" Fine Polishing **: Langkah iki fokus ing mbusak cacat lumahing cilik lan nambah karakteristik nano-morfologi wafer. Jumlah materi sing dibusak sajrone proses iki kira-kira 1μm.

4. ** Polishing Final **: Kanggo pangolahan chip IC karo syarat linewidth banget kenceng (kayata Kripik cilik saka 0.13μm utawa 28nm), langkah polishing final penting sawise polishing nggoleki lan "defogging" polishing nggoleki. Iki njamin manawa wafer silikon entuk akurasi mesin sing luar biasa lan karakteristik permukaan skala nano.

Iku penting kanggo Wigati sing kimia mechanical polishing (CMP) sakawafer silikonlumahing punika béda saka teknologi CMP digunakake kanggo flattening lumahing wafer ing preparation IC. Nalika loro cara kasebut kalebu kombinasi polishing kimia lan mekanik, kahanan, tujuan, lan aplikasi beda-beda sacara signifikan.

nawakake Semicorexwafer kualitas dhuwur. Yen sampeyan duwe pitakon utawa butuh rincian tambahan, aja ragu-ragu hubungi kita.

Kontak telpon # +86-13567891907

Email: sales@semicorex.com