Apa Electrostatic Chuck (ESC)?

Ing manufaktur semikonduktor, presisi lan stabilitas proses etsa sing paling penting. Salah sawijining faktor kritis kanggo entuk etsa sing berkualitas yaiku mesthekake manawa wafer rata ing tray sajrone proses kasebut. Sembarang panyimpangan bisa nyebabake bombardment ion sing ora rata, nyebabake sudut sing ora dikarepake lan variasi ing tingkat etsa. Kanggo ngatasi tantangan kasebut, insinyur wis dikembangakeChuck Elektrostatik (ESC), kang wis Ngartekno apik kualitas etching lan stabilitas. Artikel iki nyelidiki desain lan fungsi ESCs, fokus ing siji aspek utama: prinsip elektrostatik konco adhesion wafer.

Adhesi Wafer Elektrostatik

Prinsip koncoESC's kemampuan kanggo aman nyekel wafer dumunung ing desain elektrostatik sawijining. Ana rong konfigurasi elektroda utami sing digunakake ingESCs: siji-elektroda lan dual-elektroda designs.

Desain Elektroda Tunggal: Ing desain iki, kabeh elektroda disebarake kanthi seragamESClumahing. Nalika efektif, nyedhiyakake tingkat daya adhesi sing moderat lan keseragaman lapangan.

Desain Dual-Elektroda: Desain dual-elektroda, Nanging, nggunakake voltase positif lan negatif kanggo nggawe lapangan elektrostatik kuwat lan seragam. Desain iki menehi daya adhesion sing luwih dhuwur lan njamin wafer ditahan kanthi rapet lan merata ing permukaan ESC.

Nalika voltase DC ditrapake ing elektroda, lapangan elektrostatik digawe ing antarane elektroda lan wafer. Bidang iki ngluwihi lapisan insulasi lan sesambungan karo bagian mburi wafer. Medan listrik nyebabake muatan ing permukaan wafer nyebar maneh utawa polarisasi. Kanggo wafer silikon doped, biaya gratis pindhah ing pengaruh medan listrik - muatan positif pindhah menyang elektroda negatif, lan muatan negatif pindhah menyang elektroda positif. Ing kasus wafer undoped utawa insulating, medan listrik nyebabake pamindahan muatan internal, nggawe dipol. Kekuwatan elektrostatik sing diasilake kanthi kuat nempelake wafer menyang chuck. Kekuwatan gaya iki bisa dikira nggunakake hukum Coulomb lan kekuatan medan listrik.