Komponen lan Aplikasi Quartz Semikonduktor Umum

Quartz kalebu sistem kristal trigonal, yaiku kristal mineral kerangka telung dimensi sing kasusun saka silikon dioksida. Biasane, kuarsa murni ora ana warna lan transparan, nanging njupuk macem-macem warna minangka asil saka jejak ion pigmen, inklusi sing disebar kanthi apik utawa pembentukan pusat warna. Kanthi macem-macem sifat sing apik banget, kuarsa digunakake ing macem-macem proses manufaktur semikonduktor, lan kinerja lan kualitase langsung mengaruhi asil, kinerja, lan biaya piranti semikonduktor.

1. Kuarsa Crucible

Ingkrucil kuarsadigunakake kanggo nahan bahan baku silikon polikristalin ing proses pertumbuhan silikon monocrystalline suhu dhuwur. Kanggo njamin bahan dhukungan sing stabil, crucibles kuarsa kudu duwe stabilitas suhu dhuwur sing apik (titik leleh> 1700 ℃) lan koefisien ekspansi termal sing kurang kanggo nahan tantangan kondisi operasi suhu dhuwur sing atos. Crucibles kuarsa kanggo aplikasi semikonduktor kudu digawe saka kuarsa kemurnian dhuwur saka kelas 4N8 utawa luwih dhuwur. Pilihan materi sing wicaksana iki bisa nyuda resiko kontaminasi kristal kanthi efektif amarga udan najis saka crucible kuarsa amarga suhu dhuwur.

Tabung tungku kuarsa biasane dadi kamar reaksi suhu dhuwur kanggo macem-macem proses manufaktur wafer kayata difusi, oksidasi, lan deposisi uap kimia (CVD). Daditabung pawon kuarsakudu fitur resistance suhu dhuwur banget kanggo nyegah saka deforming utawa softening disebabake lingkungan suhu dhuwur. Ing sawetara proses, perawatan dehidroksilasi malah dibutuhake kanggo nyuda pengaruh gugus hidroksil ing stabilitas termal. Pabrikan tabung tungku kuarsa uga mbutuhake bahan kuarsa kanthi kemurnian dhuwur kanthi kandungan impurity metalik ≤1 ppm kanggo nyegah impurities saka precipitating sajrone proses reaksi lan mengaruhi asil pangolahan wafer.

Kapal kuarsa biasane digunakake bebarengan karo tabung tungku kuarsa kanggo nggawa lan ngangkut puluhan nganti atusan wafer. Mulane,prau kuarsabiasane kudu duwe resistance suhu dhuwur banget padha, resistance karat, lan stabil, kinerja dipercaya ing syarat-syarat kekuatan mechanical minangka tabung pawon kuarsa.

Cincin fokus kuarsadirancang khusus kanggo proses etsa garing. Biasane dipasang ing sekitar wafer kanggo mbatesi lan homogenisasi plasma, kanthi efektif njamin keseragaman tingkat etsa lan pola ing wafer. Lingkungan operasi iki mbutuhake dering fokus kuarsa kanggo nduweni resistensi sing kuat marang karat plasma, akurasi dimensi sing dhuwur banget, lan permukaan sing mulus kanggo nyegah discharge utawa produksi partikel sing ora normal.