Perawatan permukaan kanggo chuck elecrostatic sing dhuwur

TheChuck ElectrostaticNglakoni pirang-pirang fungsi kayata seragam seragam elecrostatic, konduksi panas lan adsorption wafer lan fiksasi ing bidang semikonduktor. Salah sawijining fungsi inti ESC yaiku Stabil Kesehatan Adsorb Wafers ing kahanan operasi sing ekstrem kayata vakum sing dhuwur, plasma sing kuwat, lan sawetara suhu sing kuwat.

Apa sing tenan nemtokake kinerja sing dudu struktur njaba utawa formula material, nanging proses perawatan permukaan.Without perawatan permukaan profesional, masalah ing ngisor iki bakal ditemoni sajrone operasi:

1. Erosi Plasma lan kontaminasi logam

Lumahing keramik sing ora dilindhungi rawan kanggo etis plasma ing etching utawa setelan proses cvd.Ing jinis erisi bisa langsung nyebabake kacilakan ion-irung-partikel keramik, mula bisa ngrusak wafer.

2. Konduktivitas termal lan deformasi Warpage

Permukaan kasar utawa perawatan kurang apik ing kontak sing ora rata ing antarane wafer lanEsc, ngalangi konduksi panas lan mengaruhi keseragaman CD.

3. Adsorption electrostatic sing ora stabil

Kontrol Inaccurate saka Perselaksinasi Pelanggaran Checkrostatic bisa gampang nyebabake kekuwatan adsorption utawa adsorption sing luwih gedhe, pungkasane ngaruh ngasilake wafer.

Lumahing escs dhuwur asring nganggo desain struktur multi-lapisan komposit, wilayah fungsional sing tepat liwat lapisan kanggo nggayuh integrasi kinerja sing bener.

Kanthi kekerasan, resistensi plasma, lan koefisi gesekan sing kurang, kabeh cocog kanggo aplikasi detancmen anti-erosi lan anti partikel ing peralatan etching.

1.Fluoropolymer non-adesif Coights (kayata PTFE lan PFA)

Lapisan kaya iki cocog kanggo proses proses suhu sing sithik amarga energi gratis lumahing, sing efektif nyegah adsorption residu fotoresist.

2 .. carbon kaya berlian (DLC)

Kanthi kekerasan, resistensi plasma, lan koefisi gesekan sing kurang, kabeh cocog kanggo aplikasi detancmen anti-erosi lan anti partikel ing peralatan etching.

3. Filem keramik PVD (kayata CRSin lan Tin)

Lapisan jinis iki bisa nggawe dalan konduksi stabil ing wilayah tartamtu, lan kanthi mangkono kanthi efektif ngindhari masalah akumulasi lokal kanthi tepat.

4.Composite lapisan contraktif Termal Contruktive (kayata bubuk berlian lan lapisan fluoropolymer)

Lapisan kaya iki nggabungake sifat-sifat sing ora adesif kanthi konduktivitas termal, lan kinerja sakabehe bisa cocog karo syarat aplikasi ESC termal termal ESC sing dhuwur.