Komponen Keramik Precision ing Semikonduktor

Keramik PrecisionBagéan minangka komponen utama peralatan inti ing proses utama pabrik, etching, implantasi film, cmp, lan sapiturute, lan sapiturute, lan sapiturute, lan sapiturute, lan sapiturute, lan sapiturute, lan liyane.

Ing mesin lithografi dhuwur, supaya bisa nggayuh proses proses dhuwur, perlu nggunakake komponen keramik kanthi kompleks fungsional, stabilitas struktural, stabilitas strukture, lan akurasi termal, kayataChuck Electrostatic, Vakum-Chuck, Mblokir, bentuke banyu kerangka baja magnetik, cermin, pandhuan rel, meja kerja, meja topeng, lsp.

1. Chuck Electrostatic

Chuck electrostatic minangka clamping lan transfer transfer silikon sing akeh digunakake ing komponen komponen semikonduktor. Iki digunakake ing proses semikonduktor ing plasma lan vap gerbang, etching, beluk kimia lan implantasi ion. Bahan keramik utama yaiku keramik alumina lan keramik nitride silikon. Kesulitan manufaktur minangka desain strukture kompleks, pilihan material mentah lan dosa, kontrol suhu, lan teknologi pangolahan tliti dhuwur.

2. Platform Ponsel

Desain sistem material platform seluler mesin litiografi minangka kunci kanggo tliti sing dhuwur lan kacepetan mesin lithografi. Supaya kanthi efektif nolak ubatan platform seluler amarga gerakan sing cepet sajrone proses pindai, platform material kudu kalebu syarat ekspansi sing dhuwur, yaiku bahan kasebut kudu duwe syarat-syarat modul lan kapadhetan sing dhuwur. Kajaba iku, materi uga butuh kaku khusus khusus, sing ngidini platform kabeh kanggo njaga tingkat distorsi sing padha nalika tahan percepatan lan kacepetan sing luwih dhuwur. Kanthi ngalih topeng kanthi kacepetan sing luwih dhuwur tanpa ningkatake distorsi, throuppppput saya tambah, lan efisiensi karya bisa saya tambah nalika njamin tliti sing dhuwur.

Kanggo mindhah diagram sirkuit chip saka topeng menyang wafer kanggo nggayuh fungsi chip sing wis ditemtokake, proses etching minangka bagean penting. Komponen sing digawe saka bahan keramik ing peralatan etching utamane kalebu kamar, pangilon jendela, piring buah gas, cincin tutup, fokus ing cincin lan elektrostatik.

3. Kamar

Minangka fitur minimal ukuran piranti semikonduktor terus nyusut, syarat kanggo cacat wafer wis dadi luwih ketat. Kanggo ngindhari kontaminasi kanthi reged lan partikel logam, luwih akeh syarat sing luwih ketat kudu dilindhungi kanggo bahan rongga peralatan semikonduktor lan komponen ing ronggah. Saiki, bahan keramik wis dadi bahan utama kanggo rongga mesin etching.

Syarat material (1) Kemurnian sing dhuwur lan konten sing ora pati jelas; (2) sifat-sifat kimia sing stabil komponen utama, utamane tingkat reaksi kimia sing sithik kanthi gas sing dikerjakake halogen; (3) Kapadhetan sing dhuwur lan sawetara pori mbukak; (4) pari-parian cilik lan konten watesan phase sing kurang; (5) sifat mekanik sing apik banget lan produksi gampang lan pangolahan; (6) Sawetara komponen bisa uga duwe syarat kinerja liyane, kayata sipat dielektrik, konduktivitas listrik utawa konduktivitas termal.

4. Sirah padusan

Lumahinge disebarake kanthi atusan utawa ewu cilik liwat bolongan, kaya jaringan saraf sing tepat, sing bisa ngontrol manawa saben inci "ngolah gas, nambah efisiensi produk.

Masalahe teknis saliyane syarat sing dhuwur banget kanggo kabersihan lan resistensi karat, piring distribusi gas duwe syarat-syarat babagan konsistensi bolongan cilik ing bolongan distribusi gas. Yen ukuran toleransi ukuran lan panyimpangan standar konsistensi gedhe utawa ana burs ing tembok batin, ketebalan lapisan film sing disimpen bakal beda, sing bakal mengaruhi ngasilake proses peralatan.

5. Fokus fokus

Fungsi cincin fokus yaiku nyedhiyakake plasma sing seimbang, sing mbutuhake konduktivitas sing padha karo wafer silikon. Ing jaman biyen, materi sing digunakake utamane silikon konduktivitas, nanging plasma sing ngemot fluorine bakal reaksi karo silikon kanggo ngasilake komponisi silikon sing molah malih, ngasilake komponen sing asring, lan efisien suda. SIC duwe konduktivitas sing padha karo SIVS sing luwih apik, lan tahan sing luwih apik kanggo plasma Etching, saengga bisa digunakake minangka bahan kanggo fokus cincin.

Semikoreks nawakake kualitas dhuwurBagéan Keramiking industri semikonduktor. Yen sampeyan duwe pitakon utawa butuh rincian tambahan, aja ragu-ragu kanggo sesambungan karo kita.

Hubungi telpon # + 86-13567891907

Email: sales@semikorex.com