2025-05-13
ThePlate Distribusi Gas, asring diarani "showerhead," meh padha karo showerhead konvensional, nanging regane bisa tekan atusan ewu, luwih dhuwur tinimbang kamar mandi sing khas.
Lumahing piring distribusi gas duwe bolongan cilik utawa pirang-pirang bolongan cilik sing disusun, meh padha karo jaringan saraf sing apik banget. Desain iki ngidini kontrol aliran gas lan sudut sing tepat, kanggo mesthekake yen saben bagean saka area pangolahan wafer kasebut kanthi merata "adus" ing gas proses. Iki ora mung efisiensi produksi nanging uga nambah kualitas produk.
Plate distribusi gas integral integral kanggo proses utama kayata reresik, etching, lan deposisi. Meruhi langsung accurasi proses semikonduktor lan kualitas produk pungkasan, nggawe komponen kritis ing macem-macem aplikasi distribusi gas.
Sajrone proses reaksi wafer, permukaan kasebutshowerheadditutupi karo mikropores (apent 0,2-6 mm). Liwat struktur saluran sing dirancang lan gas sing tepat, gas proses khusus kudu ngliwati ewonan bolongan cilik sing ana ing piring gas seragam lan banjur dipotong kanthi merata ing permukaan wafer. Lapisan film ing macem-macem wilayah wafer kudu njamin keseragaman lan konsistensi sing dhuwur. Mula, saliyane syarat sing dhuwur banget kanggo kabersihan lan resistensi karat, piring distribusi gas duwe syarat-syarat babagan konsistensi bolongan cilik ing bolongan distribusi gas ing bolongan ing bensin. Yen ukuran toleransi ukuran lan kontrak standar konsistensi gedhe utawa ana burs ing tembok batin, ketebalan lapisan film sing disimpen bakal beda, sing bakal mengaruhi asil proses saka peralatan kasebut.
Bahan saka piring distribusi gas kadhangkala bisa materi sutra (kayata kaca kuarza, kaca kuarza, keramik), sing gampang diilangi miturut tumindak kekuwatan njaba. Iki uga bolongan ultra-jero sajrone 50 kaping diameter mikropore, lan kahanan nglereni ora bisa diamati langsung. Kajaba iku, panas nglereni ora gampang ditularake lan chip chip angel, lan bit bet gampang rusak amarga blockage chip. Mula, pangolahan lan persiapan angel banget.
Kajaba iku, ing proses sing dibantu Plasma (kayata etching garing lan garing), sirah mandheg, minangka bagean saka elektroda, uga kudu nambahi sawah listrik seragam kanggo promosi keseragaman seragam utawa deposisi.
Wiwit gas sing digunakake ing proses pabrik semikonduktor bisa suhu suhu dhuwur, tekanan utawa korosif, showerhead biasane digawe saka bahan tahan karat. Ing produksi nyata, amarga macem-macem skenario panggunaan lan tliti sing dibutuhake, piring distribusi gas bisa dipérang dadi rong kategori ing ngisor iki miturut komposisi materi:
(1) piring distribusi gas logam
Bahan-bahan distribusi distribusi gas, kalebu alloy baja aluminium, stainless stainless, ing antarane bahan piring distribusi distribusi gas logam sing paling akeh digunakake yaiku alloy alloyum sing apik, amarga nduweni tahan karat sing apik. Iki akeh kasedhiya lan gampang diolah.
(2) Plate Distribusi Gas Non-logam
Bahan-bahan distribusi gas non-logam kalebu silikon kristal, kaca kuarza lan bahan keramik. Antarane, bahan keramik umume digunakake yaiku CVD-SIC, keramik alumina, keramik nitride silikon, lsp.
Semikoreks nawakake kualitas dhuwurShowerheads sik cvding industri semikonduktor. Yen sampeyan duwe pitakon utawa butuh rincian tambahan, aja ragu-ragu kanggo sesambungan karo kita.
Hubungi telpon # + 86-13567891907
Email: sales@semikorex.com