Monocrystalline Silicon Epitaxial Susceptor

Sampurna kanggo grafit epitaxy lan proses penanganan wafer, Semicorex ultra-murni Monocrystalline Silicon Epitaxial Susceptor njamin kontaminasi minimal lan menehi kinerja urip dawa banget. Produk kita duwe kauntungan rega sing apik lan nutupi akeh pasar Eropa lan Amerika. We look nerusake kanggo dadi partner long-term ing China.

Kirim Pitakonan

Deskripsi Produk

Semicorex Monocrystalline Silicon Epitaxial Susceptor minangka produk grafit sing dilapisi karo SiC sing diresiki dhuwur, sing nduweni resistensi panas lan korosi sing dhuwur. Operator dilapisi silikon karbida CVD digunakake ing proses sing mbentuk lapisan epitaxial ing wafer semikonduktor, sing nduweni konduktivitas termal sing dhuwur, lan sifat distribusi panas sing apik banget.
Susceptor Epitaxial Silicon Monocrystalline dirancang kanggo entuk pola aliran gas laminar sing paling apik, njamin kerataan profil termal. Iki mbantu kanggo nyegah kontaminasi utawa panyebaran impurities, njamin wutah epitaxial kualitas dhuwur ing chip wafer.
Hubungi kita dina iki kanggo mangerteni sing luwih lengkap babagan Monocrystalline Silicon Epitaxial Susceptor.

Parameter Monocrystalline Silicon Epitaxial Susceptor

Spesifikasi Utama Lapisan CVD-SIC
SiC-CVD Properties
Struktur Kristal	Fase β FCC
Kapadhetan	g/cm³	3.21
Kekerasan	kekerasan Vickers	2500
Ukuran gandum	μm	2~10
Kemurnian Kimia	%	99.99995
Kapasitas panas	J kg-1 K-1	640
Suhu Sublimasi	℃	2700
Kekuwatan Felexural	MPa (RT 4-titik)	415
Modulus Muda	Gpa (4pt bend, 1300 ℃)	430
Ekspansi Termal (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Konduktivitas termal	(W/mK)	300

Fitur Monocrystalline Silicon Epitaxial Susceptor

- Loro-lorone substrat grafit lan lapisan karbida silikon duwe kapadhetan sing apik lan bisa nduwe peran protèktif sing apik ing suhu dhuwur lan lingkungan kerja sing korosif.
- Susceptor dilapisi silikon karbida sing digunakake kanggo pertumbuhan kristal tunggal nduweni flatness permukaan sing dhuwur banget.
- Ngurangi prabédan ing koefisien expansion termal antarane landasan grafit lan lapisan silikon karbida, èfèktif nambah kekuatan iketan kanggo nyegah retak lan delamination.
- Loro-lorone substrat grafit lan lapisan silikon karbida duwe konduktivitas termal sing dhuwur, lan sifat distribusi panas sing apik.
- Titik leleh dhuwur, tahan oksidasi suhu dhuwur, tahan korosi.