Lapisan karbon sing dibentuk

Lapisan karbon glassy glassy glassy tumindak minangka lapisan insulasi batin ing reaktor epitoxial karbida karbida karbida. Iki materi insulasi dhuwur sing dirancang kanggo lingkungan termal maju. Produk iki ngatasi tantangan pabrik khas semikonduktor semikonduktor kanthi nawakake solusi unggul amarga properti insulasi termal sing paling enthenggrafit dirasakake, ditambah karo integritas permukaan lan inertness kimia sing diwenehake dening lapisan karbon glassy.

Bahan dhasar minangka kesucian sing dhuwurgrafit dirasakakemilih stabilitas suhu suhu termal sing kurang lan bobot entheng. Grafis normal dirasakake duwe permukaan serat lan generasi ing suhu sing dhuwur sing bisa ngrusak lingkungan proses ing sistem epitormxial sensitif. Kanggo nyuda masalah iki, permukaan grafit kasebut dirasakake nganggo lapisan karbon gelas - wangun karbon sing kandhel, ora pati rame, lan stabil termal sing luar biasa.

Carbon glassy minangka karbon sing ora grafit sing nggabungake sifat kaca lan keramik. Beda karo grafit kristal, yaiku amoral, meh 100% Bahan karbon SP2 SP2, sing dibentuk dening sintering suhu polimulasi, kayata Resin organik polimer, kayata resin firfuryl, lan sapiturute, ing swasana gas. Amarga ireng ing saindenging lan duwe permukaan sing padha karo gelas, diarani karbon glassy.

Pelapisan karbon glassy bisa ngilangi generasi partikel tungku, nyedhiyakake pori sing wis ditutup, kudu sifat-sifat permukaan sing apik banget lan nggawe materi kasebut cocog kanggo cetakan casting sing terus-terusan kanggo industri semikonduktor sing apik banget kanggo industri semikonduktor. Bahan iki nduweni macem-macem aplikasi ing industri semikonduktor, utamane ing bagean grafit kayata komponen peralatan kristal, kayata komponen pertumbuhan Epitixial, jigs kaca sing terus-terusan, lsp.

Karbon glassy duwe resistensi suhu sing dhuwur nganti 3000 ° C ing gas utawa vakum, lan ora dadi resistensi sing apik banget, lan ora dadi panas lan wektu pendeksa sing dhuwur banget. Kajaba iku, carbon glassy duwe massa sing kurang, penyerapan panas lan ekspansi termal sing kurang, saengga cocog kanggo meh kabeh aplikasi suhu sing dhuwur.

Pelapisan karbon glassy mainake peran penting kanggo nyuda pori permukaan grafit sing dirasakake, signifikan nyuda rilis partikel lan bledug karbon sajrone operasi. Iki kritis ing proses wutah EPitoxial, ing endi malah kontaminasi minimal bisa kompromi kualitas wafer lan kinerja piranti. Kanthi ningkatake struktur keropos sing dirasakake kanthi cangkang karbon sing apik lancar, lapisan kasebut njamin lingkungan termal sing resik lan stabil ing ruangan reaksi.

Keuntungan utama lapisan karbon glassom sing dirasakake:

Pengembangan partikel suda: Kunci lapisan sing sampurna ing serat lan partikel ngeculke, nyegah kontaminasi saka wafers lan komponen reaktor.

Kestabilan termal dhuwur: Krasa grafit lan karbon glassy bisa tahan suhu tuwuhing 2000 ° C ing proses utawa atmosfer vakum, nggawe produk SIC suhu dhuwur.

Inertness Kememahan: Lumahing karbon glassy tahan kanggo umume asam lan gas korofa, ngluwihi urip operasional lapisan jampel ing kahanan sing angel.

Konsistensi proses sing apik: generasi partikel minimalake nyumbang kanggo lingkungan wutah epitoxial sing luwih stabil lan bisa diulang ulang, sing penting kanggo ngasilake wafers sic sing bermutu tinggi.

Aplikasi saka lapisan karbon sing diantrekake utamane utamane kanggo pugaran pertumbuhan Epitoxial, ing ngendi digunakake minangka lapisan insulasi termal ing zona panas. Produk kasebut biasane diinstal minangka bahan lining ing tumpukan insulasi ndhuwur utawa ngisor, ing endi nyedhiyakake perjanjian termal lan kabersihan.