Fused Quartz Alas

Ing fabrikasi semikonduktor, Fused Quartz Pedestal minangka struktur pendukung kanggo prau kuarsa, sing nahan wafer. Kanthi njaga suhu konstan, mbantu entuk deposisi film tipis sing seragam, faktor kritis kanggo kinerja lan linuwih piranti semikonduktor. Alas mesthekake yen distribusi termal lan cahya ing kamar proses rata, saéngga nambah kualitas sakabèhé proses deposisi.

Kaluwihan saka Bahan Quartz Fused

1. Resistance Suhu dhuwur

Fused Quartz Pedestal nduweni titik alus kira-kira 1730°C, saéngga bisa tahan kanggo panggunaan sing dawa ing suhu antara 1100°C nganti 1250°C. Kajaba iku, bisa tahan paparan jangka pendek kanggo suhu nganti 1450 ° C.

2. Tahan korosi

Fused Quartz Pedestal sacara kimia inert kanggo umume asam, kajaba asam hidrofluorat. Resistance asam ngluwihi 30 kali keramik lan 150 kali stainless steel. Ing suhu sing luwih dhuwur, ora ana bahan liya sing bisa cocog karo stabilitas kimia kuarsa sing digabung, dadi pilihan sing cocog kanggo lingkungan kimia sing atos.

3. Stabilitas termal

Salah siji fitur standout saka Fused Quartz Pedestal yaiku koefisien ekspansi termal minimal. Properti iki ngidini kanggo nahan owah-owahan suhu sing abot tanpa retak. Contone, bisa digawe panas kanthi cepet nganti 1100 ° C lan banjur dicemplungake ing banyu ing suhu kamar tanpa ngrusak karusakan-karakteristik penting kanggo proses manufaktur stres dhuwur.

Proses Manufaktur

Proses manufaktur kanggo Fused Quartz Pedestal dikontrol kanthi tliti kanggo njamin standar kualitas sing paling dhuwur. Pedestals diprodhuksi liwat proses thermoforming lan welding sing ditindakake ing lingkungan kamar resik kelas 10.000 utawa luwih dhuwur. Reresik sakteruse nganggo banyu ultrapure (18 MΩ)luwih njamin kemurnian lan kinerja prodhuk. Saben Fused Quartz Pedestal ngalami pemeriksaan, reresik, lan kemasan sing ketat ing kamar resik kelas 1,000 utawa luwih dhuwur kanggo nyukupi syarat fabrikasi semikonduktor sing ketat.

Bahan Kuarsa Buram Kemurnian Tinggi

Kanggo mblokir panas lan cahya kanthi efektif, Fused Quartz Pedestal nggunakake bahan kuarsa buram sing kemurnian dhuwur. Sifat unik materi iki nambah kemampuan pedestal kanggo njaga suhu sing stabil lan seragam ing ruang proses, saéngga njamin kualitas deposisi film tipis sing konsisten ing wafer.

Wide Range saka Aplikasi

Sifat luar biasa saka Fused Quartz Pedestal ndadekake cocok kanggo macem-macem aplikasi ing industri semikonduktor. Ing pangolahan ALD, ndhukung kontrol sing tepat saka wutah film tipis ing tingkat atom, penting kanggo produksi piranti semikonduktor majeng. Sajrone proses LPCVD, stabilitas termal pedestal lan kemampuan pamblokiran cahya nyumbang kanggo deposisi film seragam, ningkatake kinerja piranti lan ngasilake.

Ing proses difusi, Fused Quartz Pedestal tahan suhu dhuwur lan inertness kimia njamin doping bahan semikonduktor sing dipercaya lan konsisten. Proses kasebut kritis kanggo nemtokake sifat listrik piranti semikonduktor, lan panggunaan bahan berkualitas tinggi kaya kuarsa gabungan penting kanggo entuk asil sing optimal.