Chuck Elektrostatik

Semicorex Electrostatic Chuck (ESC) minangka komponen canggih sing digunakake ing manufaktur semikonduktor, dirancang kanggo nahan wafer semikonduktor kanthi aman sajrone macem-macem tahap pangolahan. Kanthi prasetya kita kanggo ngirim produk sing paling apik kanthi rega sing kompetitif, kita siap dadi mitra jangka panjang ing China.*

Kirim Pitakonan

Deskripsi Produk

Nggunakake keramik alumina kemurnian dhuwur, Semicorex Electrostatic Chuck nyedhiyakake kinerja paling dhuwur ing setelan sing prioritas presisi, stabilitas, lan kebersihan. Alumina, uga dikenal minangka aluminium oksida (Al2O3), minangka bahan keramik sing misuwur amarga sifat insulasi listrik sing luar biasa, konduktivitas termal sing dhuwur, lan kekuatan mekanik sing luar biasa. Sifat-sifat kasebut nggawe bahan sing cocog kanggo nggawe chuck elektrostatik, dirancang kanggo nahan kahanan pangolahan semikonduktor. ESC keramik alumina direkayasa kanggo nahan suhu dhuwur, lingkungan korosif, lan stres mekanik sajrone penanganan lan pangolahan wafer, nduweni peran kritis kanggo njamin asil lan kualitas piranti semikonduktor.

Prinsip dhasar ing mburi Electrostatic Chuck yaiku gaya elektrostatik, digunakake kanggo nahan wafer kanthi aman. Gaya iki diasilake kanthi ngetrapake voltase menyang elektroda sing dipasang ing bahan keramik. Interaksi antarane lapangan elektrostatik lan biaya induksi ing lumahing wafer nggawe pasukan clamping kuwat sing nahan wafer marang lumahing chuck kang. Desain ESC keramik alumina mesthekake yen pasukan clamping iki disebarake merata ing wafer, minimalake risiko slip utawa karusakan nalika diproses.

Salah sawijining kaluwihan utama nggunakake keramik alumina ing konstruksi Electrostatic Chuck yaiku sifat insulasi listrik sing luar biasa. Kekuwatan dielektrik dhuwur alumina ngidini aplikasi voltase dhuwur tanpa risiko rusak listrik, sing penting kanggo njaga integritas medan elektrostatik. Iki penting banget ing proses kayata etsa plasma utawa deposisi uap kimia, ing ngendi wafer katon ing lingkungan sing reaktif banget lan variasi gaya clamping bisa nyebabake cacat utawa karusakan ing wafer.

Saliyane sifat listrik, keramik alumina nampilake konduktivitas termal sing apik banget, sing penting kanggo ngatur panas sing diasilake sajrone proses semikonduktor. Kemampuan Electrostatic Chuck kanggo ngilangi panas kanthi efisien mbantu njaga suhu sing stabil ing wafer, nyuda gradien termal sing bisa nyebabake warping utawa stres termal liyane. Stabilitas termal iki penting banget kanggo njamin presisi lan keterulang proses kayata photolithography, sanajan panyimpangan suhu sing sithik bisa mengaruhi asil.