Cincin wafer 8-inci

Rings pencahaya semuksi semikoreks 8-inci yaiku hardware proses pangolahan semikonduktor sing tujuane kanggo ngamanake lan ndhukung proses silikon kanthi aman, etching, lan pemanggotoan. Didhekake saka grafit sing berkualitas kanthi kandhellapisan silikon karbida (sic)Kanggo nambah kekuatan, cincin pemilik wafer ngasilake stabil termal sing unggul, resistensi kimia, lan kekuatan mekanik kayata CVD (Depeksi uap kimia), sistem epitisme, lan sistem epitisme.

Fitur utama:

Komposisi Material:

Bahan substrat yaikugrafit kemurnian dhuwur, sing dipilih kanggo konduktivitas termal lan homogenitas struktural sing dhuwur. Kapadhetan dhuwur lan seragamlapisan film silikon karbida (sic)ditrapake ing permukaan, nampilake resistensi sing dhuwur kanggo oksidasi lan serangan kimia sanajan suhu sing dhuwur luwih saka 1000 ° C. Campuran kasebut ngemot umur beting dawa lan resiko minimal kontaminasi saka wafers.

Amaning posisi wafer

Dirancang utamane kanggo nyekel wafers 8-inci (200 mm), cincin wafer Holds toleransi sing tepat lan geometri sing wis dirancang kanthi optimal kanggo genggem wafer kanthi aman. Cincin kasebut tetep stabil ing posisi sajrone muter muter lan aliran gas termal, minimalake gerakan mikro sing bisa nyebabake partikel nggawe partikel utawa breakage wafer.

Kesatuan termal:

Konduktivitas termal sing ana ing antarata lan stabilitas grafasi SIC njerit translement transcensi transfer panas panas liwat permukaan wafer. Iki nyebabake asil proses sing konsisten, nyuda stres termal, lan asil piranti sing luwih apik.

Rintangan Kimia & Plasma:

Lumahing sic nglindhungi inti grafit saka plasmas proses lan gas, nawakake resistensi siklus bola-bali. Inertness kimia utamane migunani ing etchant sing ngemot halogen utawa lingkungan gas reaktif.

Kustomisasi kasedhiya:

Cincin wafer 8-inci bisa uga dirancang khusus kanggo nyukupi peralatan utawa syarat proses tartamtu, i.e., variasi desain, lokasi slot, lan konfigurasi pemasangan. Desainer kita kerja karo OEM lan fabs kanggo nyedhiyakake kinerja paling dhuwur kanggo saben panggunaan.

Aplikasi:

• Lpcvd / pecvd / apcvd
• Proses wutah Epititaxial
• Tungku bedane
• Penyebaran suhu kanthi dhuwur
• Sistem Pangolahan Termal Thermal Semikonggeng liyane

Saben cincin wafer 8-inci ngalami pemeriksaan sing ketat kaya verifikasi akurasi ukuran dimensi, tes lapisan lapisan lapisan, lan kualifikasi olahraga termal. Teknologi manufaktur majeng kita njamin kekandelan letak sic seragam lan rampung lumahing paling apik kanggo ngrampungake panjaluk industri semikonduktor.

Rings Waferx 8-inci Semikorex (Grafit sing ditutupi SIC) minangka peralatan penting kanggo produksi semikonduktor sabanjure, nyedhiyakake tliti mekanik, daya tahan bahan kimia. Saka proses ngolah peralatan kanggo pambangunan platform wafer generasi sabanjure, produk iki nawakake linuwih lan kinerja sing dibutuhake kanggo ngaktifake produksi produksi nuntut saiki.