8. Inch Epi Pemilik

Semikorex 8 inch EPI Susceptor minangka bagean dhukungan wafer tech-teknologi tinggi sing digunakake ing Operasi Impitoxial kanggo ngasilake semikonduktor. Diprodhuksi kanthi bahan inti grafit grafit sing cukup murni nganggo lapisan seragam karet sing tebal (SIC) sing digunakake ing reaktor epitarxial sing stabil termal, resistensi kimia lan, keseragaman deposisi penting. Diameteripun 8 inci standar kanggo spesifikasi industri kanggo peralatan sing ngolah wafers 200 mm lan mulane menehi integrasi sing bisa dipercaya menyang macem-macem data sing ana.  

Wutah Epitoxial mbutuhake lingkungan termal sing dikontrol lan interaksi material sing angel. Ing kedadeyan kasebut ing kedadeyan kasebut SIC Coated Grafite bakal ditindakake kanthi positif. Intine grafit duwe konduktivitas termal sing dhuwur banget lan ekspansi termal sing sithik, tegese sumber pemanasan sing cukup dirancang kanthi cepet saka inti grafit kasebut kanthi cepet bisa ditransfer kanthi cepet ing permukaan wafer. Lapisan njaba SIC ana efek saka njaba saka susceptor. Lapisan sic kasebut nglindhungi inti susceptor saka suhu sing dhuwur, produk-produk saka gas sing bisa diolah kayata hidrogen, lan karusakan mekaritas sing ana amarga siklus mekanik sing disebabake dening siklus pemirsa bola-bali. Sakabèhé kita bisa mbantah manawa struktur dual materi iki cukup tebal, para peluru bakal tetep loro-lorone kanthi swara mekanik lan kimia dadi panas. Kejonku, kita wis mirsani kanthi empiris iki nalika operasi ing kisaran termal sing relevan, lan lapisan sic kasebut nyedhiyakake alangi sing bisa dipercaya ing antarane proses lan tingkat inti sing bisa dipercaya, maksimalake kesempatan kanggo kualitas produk.

Komponen grafit duwe bagean penting ing semikonduktor, lan kualitas materi grafit minangka faktor sing signifikan ing kinerja produk. Ing semikoreks kita duwe kontrol sing ketat ing saben langkah proses produksi supaya kita bisa duwe homogenitas materi sing bisa diterbitake lan konsistensi saka kumpulan. Kanthi proses produksi kumpulan cilik, kita duwe tungku karbonisasi cilik kanthi volume ruangan mung 50 kubik, saéngga bisa njaga kontrol sing luwih kenceng ing proses produksi. Saben blok grafit ngalami pemantauan individu, nglacak ing saindhenging proses kita. Saliyane ngawasi suhu multi-titik ing tungku, kita nglacak suhu ing permukaan materi, minimalake panyimpangan suhu kanggo sawetara proses sing sempit. Perhatian kita kanggo manajemen termal ngidini kita nyilikake stres internal lan ngasilake komponen grafit sing paling stabil lan bisa diterbitake kanggo aplikasi semikonduktor.

Pelapisan SIC ditrapake liwat deposisi uap kimia (CVD), lan ngasilake permukaan sing wis solid, resik kanthi matriks sing apik banget kanggo nyuda generasi partikel; Lan mula, proses CVD sing resik ditambah. Proses proses CVD CVD saka keretaan film sing dilapisi kanthi seragam daya seragam lan penting kanggo flatness lan stabilitas dimensi liwat muter termal. Iki pungkasane nyedhiyakake plancongan wafer sing apik, nyebabake penaklasan lapisan sing paling apik sajrone proses epitisme. - Parameter tombol kanggo entuk piranti semikonduktor kanthi apik kayata mosok semikonduktor kayata igbts rf

Konsistensi dimensi yaiku keuntungan dhasar liyane saka Susceptor 8 inci epi sing diprodhuksi dening semisorex. Susceptor direkayasa kanggo direkayasa kanggo toleransi sing ketat nyebabake kompatibilitas sing akeh karo robot sing luwih apik lan tliti ing zona pemanasan. Lumahing susceptor dikembangake lan disesuaikan karo kahanan termal lan aliran reaktor epitoxial spesifik sing bakal ditrapake. Pilihan, contone angkat bolongan PIN, recesses kanthong utawa lumahing anti-slip bisa cocog karo syarat-syarat spesies desain lan proses oem.

Saben Susceptor ngalami pirang-pirang tes kanggo kinerja termal lan integritas termal sajrone produksi. Cara kontrol Kualitas kalebu pangukuran dimensi lan verifikasi, tes pemirsa lapisan, tes kejutan termal, lan tes tahan kimia ditrapake kanggo njamin lingkungan lan kinerja sing agresif. Asil minangka produk sing pungkasane ketemu lan ngluwihi syarat nuntut industri fabrikasi semikonduktor saiki.

Susceptor semudoreks 8 inci epi digawe saka grafit sing dilapisi SIC sing seimbang imbangan termal, kakuan mekanik, lan kimia kimia. Susceptor 8 inci minangka komponen utama kanggo aplikasi pertumbuhan Epitexy epitexy-volume dhuwur amarga sukses ing suhu sing dhuwur, bathi dhuwur kanggo ngasilake proses epitisme sing dhuwur. Ukuran 8 inci saka Susceptor EPi paling umum katon ing peralatan 8 inci standar ing pasar lan bisa diowahi kanthi peralatan pelanggan sing ana. Ing konfigurasi standar kasebut, Susceptor EPI banget disesuaikan.