6'' Wafer Carrier kanggo Aixtron G5

Pembawa Wafer Semicorex 6'' kanggo Aixtron G5, asring diarani susceptor, nduweni peran penting kanthi nyekel wafer semikonduktor kanthi aman sajrone pangolahan suhu dhuwur. Susceptor mesthekake yen wafer tetep ing posisi tetep, sing penting kanggo deposisi lapisan seragam:

Manajemen termal:

Pembawa Wafer 6'' kanggo Aixtron G5 dirancang kanggo nyedhiyakake pemanasan lan pendinginan seragam ing permukaan wafer, sing penting kanggo proses pertumbuhan epitaxial sing digunakake kanggo nggawe lapisan semikonduktor berkualitas tinggi.

Pertumbuhan Epitaxial:

Lapisan SiC lan GaN:

Platform Aixtron G5 utamane digunakake kanggo pertumbuhan epitaxial lapisan SiC lan GaN. Lapisan kasebut minangka dhasar kanggo nggawe transistor mobilitas elektron dhuwur (HEMT), LED, lan piranti semikonduktor canggih liyane.

Presisi lan Keseragaman:

Presisi dhuwur lan keseragaman sing dibutuhake ing proses pertumbuhan epitaxial difasilitasi dening sifat luar biasa saka 6 '' Wafer Carrier kanggo Aixtron G5. Operator kasebut mbantu entuk ketebalan sing ketat lan keseragaman komposisi sing dibutuhake kanggo piranti semikonduktor kanthi kinerja dhuwur.

keuntungan:

Stabilitas Suhu Dhuwur:

Toleransi Suhu Ekstrem:

Pembawa Wafer 6 inci kanggo Aixtron G5 bisa tahan suhu sing dhuwur banget, asring ngluwihi 1600°C. Stabilitas iki penting kanggo proses epitaxial sing mbutuhake suhu dhuwur sing tetep kanggo wektu sing suwe.

Integritas termal:

Kemampuan 6'' Wafer Carrier kanggo Aixtron G5 kanggo njaga integritas struktural ing suhu dhuwur kasebut njamin kinerja sing konsisten lan nyuda risiko degradasi termal, sing bisa kompromi kualitas lapisan semikonduktor.

Konduktivitas termal sing apik banget:

Distribusi panas:

Konduktivitas termal sing dhuwur saka SiC nggampangake transfer panas sing efisien ing permukaan wafer, njamin profil suhu sing seragam. Keseragaman iki penting kanggo nyegah gradien termal sing bisa nyebabake cacat lan ora seragam ing lapisan epitaxial.

Kontrol Proses sing Ditingkatake:

Manajemen termal sing luwih apik ngidini kontrol sing luwih apik babagan proses pertumbuhan epitaxial, mbisakake produksi lapisan semikonduktor sing luwih dhuwur kanthi cacat sing luwih sithik.

Ketahanan kimia:

Kompatibilitas lingkungan korosif:

Pembawa Wafer 6 inci kanggo Aixtron G5 nyedhiyakake resistensi luar biasa kanggo gas korosif sing umum digunakake ing proses CVD, kayata hidrogen lan amonia. Resistance iki ndawakake umur operator wafer kanthi nglindhungi substrat grafit saka serangan kimia.

Ngurangi Biaya Maintenance:

Daya tahan 6'' Wafer Carrier kanggo Aixtron G5 nyuda frekuensi pangopènan lan panggantos, ndadékaké biaya operasional sing luwih murah lan tambah wektu kanggo peralatan Aixtron G5.

Koefisien Ekspansi Termal Kurang (CTE):

Tekanan termal minimal:

CTE rendah SiC mbantu nyuda stres termal sajrone siklus pemanasan lan pendinginan kanthi cepet sing ana ing proses pertumbuhan epitaxial. Pengurangan stres termal iki nyuda kemungkinan retak wafer utawa warping, sing bisa nyebabake kegagalan piranti.

Kompatibilitas karo Peralatan Aixtron G5:

Desain sing disesuaikan:

Semicorex 6'' Wafer Carrier kanggo Aixtron G5 dirancang khusus kanggo kompatibel karo peralatan Aixtron G5, njamin kinerja optimal lan integrasi sing lancar.

Kinerja maksimal:

Kompatibilitas iki ngoptimalake kinerja lan efisiensi sistem Aixtron G5, supaya bisa nyukupi syarat proses manufaktur semikonduktor modern.