Apa SiC Boat, lan Apa Macem-macem Proses Manufaktur?

1. Proses Manufaktur Beda sakaKapal SiC

(1) Coating lapisan sakaFilm SiCing lumahing grafitprau kristalliwat CVD

Jinis prau iki nduweni inti grafit, kang machined ing siji Piece. Nanging,grafit keroposlan rawan kanggo generasi partikel, necessitating aplikasi saka aLapisan film SiCing lumahing. Amarga ora cocog ing Koefisien Ekspansi Termal (CTE) antarane awak grafit lanFilm SiC, lapisan kasebut bisa dikupas sawise pirang-pirang siklus pemanasan lan pendinginan, sing nyebabake kontaminasi partikel. Kapal kasebut paling murah lan umure kira-kira setaun.

(2) Coating lapisan sakaFilm SiCing recrystallizedPerahu kristal SiC

rekristalisasikapal SiCuga keropos lan bisa gampang ngasilake partikel. Mulane, komponen individu saka recrystallizedkapal SiCkudu wis kawangun, sintered, banjur machined dhewe. Sawisé iku, komponen diikat bebarengan ing suhu dhuwur nggunakake pasta Si. Sawise dirakit dadi prau siji, aFilm SiCditrapake liwat CVD. Iki rekristalisasiKapal SiCwis proses Manufaktur paling dawa lan larang, nanging lumahinglapisan CVDbisa uga rusak, kanthi umur watara telung taun.

(3)MonolitikPerahu kristal SiC

Ikipraukabeh kasusun saka materi SiC. Wêdakakêna SiC kudu dicetak lan disinter dadi wangun prau monolitik. Banget larang, padha banget awet lan kurang kamungkinan kanggo generate partikel. Nanging, prau kasebut ngemot silikon gratis 10-15%, sing rentan kanggo erosi dening fluorine lan klorin, sing nyebabake kontaminasi partikel.

2. Napa Dry Cleaning Ora Disaranake?

Ing ringkesan, kanggokapal SiCdilapisi karo aFilm SiC liwat CVD, lapisan permukaan rentan kanggo peeling nalika reresik garing, sing nyebabake kontaminasi partikel. Kanggo monolithickapal SiCsing ngemot silikon gratis sing sithik, paparan gas sing ngemot fluor utawa klorin bisa nyebabake erosi lan ngasilake partikel, saengga nyebabake kontaminasi.**