Metode Pertumbuhan Kristal AlN

AlN, minangka bahan semikonduktor generasi katelu, ora mung materi cahya biru lan sinar ultraviolet sing penting, nanging uga minangka kemasan penting, isolasi dielektrik lan bahan insulasi kanggo piranti elektronik lan sirkuit terpadu, utamané cocok kanggo piranti suhu dhuwur lan daya dhuwur. . Kajaba iku, AlN lan GaN duwe cocog termal apik lan kompatibilitas kimia, AlN digunakake minangka landasan epitaxial GaN, Ngartekno bisa nyuda Kapadhetan cacat ing piranti GaN, nambah kinerja piranti.

Amarga prospek aplikasi sing menarik, nyiapake kristal AlN ukuran gedhe lan berkualitas tinggi wis entuk perhatian gedhe saka peneliti ing omah lan ing luar negeri. Saiki, kristal AlN disiapake kanthi metode solusi, nitriding langsung saka logam aluminium, epitaksi fase gas hidrida lan transportasi fase uap fisik (PVT). Antarane wong-wong mau, metode PVT wis dadi teknologi utama kanggo ngembangake kristal AlN kanthi tingkat pertumbuhan sing dhuwur (nganti 500-1000 μm / h) lan kualitas kristal sing dhuwur (kapadhetan dislokasi ing ngisor 103 cm-2).

Wutah kristal AlN kanthi cara PVT ditindakake kanthi sublimasi, transportasi fase gas lan rekristalisasi wêdakakêna AlN, lan suhu lingkungan wutah nganti 2 300 ℃. Prinsip dhasar ngembangake kristal AlN kanthi metode PVT relatif prasaja, kaya sing ditampilake ing persamaan ing ngisor iki:

2AlN(s) ⥫⥬ 2Al(g) ＋N2(g)

Langkah-langkah utama proses pertumbuhan yaiku: (1) sublimasi bubuk mentah AlN; (2) transportasi komponen fase gas saka bahan mentah; (3) adsorpsi komponen fase gas ing lumahing wutah; (4) difusi lumahing lan nukleasi; lan (5) proses desorpsi [10]. Ing tekanan atmosfer standar, kristal AlN wiwit decompose alon-alon dadi uap Al lan nitrogen mung ing bab 1 700 ℃, lan reaksi dekomposisi AlN intensifies kanthi cepet nalika suhu tekan 2 200 ℃.

materi TaC punika materi crucible wutah kristal AlN nyata digunakake, karo banget fisik lan kimia, konduktivitas termal lan electrical banget, resistance karat kimia lan resistance kejut termal apik, kang bisa èfèktif nambah efficiency produksi lan urip layanan.

Semicorex nawakake kualitas dhuwurproduk lapisan TaCkaro layanan selaras. Yen sampeyan duwe pitakon utawa butuh rincian tambahan, aja ragu-ragu hubungi kita.

Kontak telpon # +86-13567891907

Email: sales@semicorex.com