Porous Alumina Vacuum Chuck

Vakum Chuck disambungake menyang peralatan vakum liwat tabung nyambungake. Nalika chuck vakum teka menyang kontak karo workpiece, kayata wafer / materi film lancip, peralatan vakum wiwit digunakake, nggawe tekanan negatif nang chuck vakum. Ing tekanan atmosfer, workpiece adheres kuwat kanggo chuck vakum, ngidini kanggo Processing. Sawise proses rampung, peralatan vakum mandheg lan alon-alon ngisi chuck vakum kanthi gas, kanthi otomatis misahake workpiece saka chuck. Iki ngrampungake clamping, Processing, lan nangani workpiece.

Tujuan inti fotolitografi semikonduktor yaiku "nyetak" milyaran pola sirkuit transistor menyang wafer kanthi presisi tingkat nanometer. Inti saka "photolithography" yaiku nggunakake sumber cahya kanggo iradiasi photoresist banget photosensitive, nyebabake reaksi kimia sing etches sirkuit. Nanging, nalika sumber cahya irradiates wafer, mesthi uga cemlorot ing Chuck elektrostatik, kang serves minangka operator wafer. Cahya sekunder sing dipantulake bisa ngganggu proses fotolitografi, nyebabake cahya ing wilayah sing ora disengaja lan ngrusak sirkuit. Mulane, lumahing ireng kanggo chuck vakum minimalake bayangan, mesthekake syarat tliti saka sistem photolithography. Adhedhasar kemampuan iki, alumina ireng bisa digunakake kanthi akeh ora mung ing chuck elektrostatik nanging uga ing skenario "pendam cahya". Tekane jaman AI wis mbisakake pangembangan signifikan ing aplikasi komunikasi optik, lan substrat alumina ireng asring katon ing kemasan piranti optoelektronik lan unsur pemancar cahya.

Keramik alumina irengdigawe utamane saka Al2O3, kanthi oksida logam transisi minangka pewarna lan alat sintering ditambahake, disinter ing suhu tartamtu. Pewarna minangka komponèn penting saka jinis keramik iki, sing nemtokake werna pungkasan. Nalika milih pewarna kanggo chuck vakum, penting kanggo mesthekake tingkat warna, kekuatan mekanik, porositas, lan ukuran pori saka chuck vakum.

Saiki, oksida logam transisi sing umum digunakake minangka pewarna ing domestik lan internasional kalebu Fe2O3, CoO, NiO, Cr2O3, lan MnO2, kanthi Fe2O3, CoO, NiO, lan MnO2 sing paling umum. Amarga alumina kurang molah malih ing suhu dhuwur, nalika oksida logam transisi ngelawan, volatility mundhak karo suhu. Oksida kasebut mbentuk senyawa jinis spinel sajrone sintering suhu dhuwur, sing nyuda volatilitase. Mulane, kanggo nyuda volatilisasi oksida logam transisi, kondisi proses sing cocog kudu dipilih supaya bisa gabung dadi senyawa spinel-jinis ing suhu sing luwih murah.

Semicorex nawakake adatkeropos vakum chuck keramik. Yen sampeyan duwe pitakon utawa butuh rincian tambahan, aja ragu-ragu hubungi kita.

Kontak telpon # +86-13567891907

Email: sales@semicorex.com