Apa Fungsi Focus Rings?

Cincin fokus minangka komponen penting kanggo njamin keseragaman lan stabilitas proses etsa semikonduktor. Liwat kontrol sing tepat ing lapangan listrik lan termal, dering fokus bisa konsentrasi plasma ing permukaan wafer, njamin asil etsa sing konsisten ing kabeh lokasi ing wafer.

Fungsi ring fokus

1. Ngapikake etching uniformity

Ing proses etching, dering fokus bisa konsentrasi plasma ingwaferlumahing, kang èfèktif njamin Kapadhetan plasma seragam, amba ion bombardment, lan tingkat energi ing loro pinggiran wafer lan wilayah tengah. Dheweke mbenerake distribusi medan listrik ing pinggir wafer, nyuda tingkat etsa, dimensi kritis, lan variasi morfologi sing disebabake dening efek pinggir, saéngga njamin konsistensi etsa ing kabeh permukaan wafer. Yen dering fokus wis rusak banget utawa ora ana dering fokus, plasma bakal nyebar saka pinggir wafer, sing pungkasane nyebabake panyimpangan sing ora cocog ing jembar garis antarane pinggiran lan wilayah tengah.

2. Nglindhungi chuck elektrostatik

Dering fokus biasane dipasang ing njaba permukaan operator wafer saka chucks elektrostatik, langsung kena bombardment lan karat plasma. Layanan persiyapan cicilan iki minangka penghalang fisik kanggo nyegah plasma kontak karo chucks elektrostatik sajrone proses etsa, saengga bisa nyuda resiko karusakan plasma. Dering fokus uga bisa nyegah prodhuk sampingan sing diasilake sajrone proses etsa supaya ora nempel ing chuck elektrostatik, saéngga ngindhari degradasi kinerja sing disebabake kontaminasi chuck lan clogging. Iki banget ngluwihi siklus pangopènan lan umur chucks elektrostatik, nyuda biaya pangopènan lan panggantos peralatan.

Dering fokus biasane digawe saka kemurnian dhuwurkuarsa, silikonlansilikon karbidabahan. Thanks kanggo kinerja lengkap sing apik banget, bahan silikon karbida mboko sithik dadi pilihan utama kanggo proses etsa sing canggih. Minangka supplier ring fokus semikonduktor dipercaya ing China, Semicorex nawakake kualitas dhuwurring fokus silikon karbidasaka macem-macem ukuran kanggo cocog karo syarat beda saka peralatan etching. Semicorex nampani pitakon lan tumbas kapan wae.