Etching lan etched Morfologi

Ing proses manufaktur semikonduktor, kita kaya bangunan pencakar langit ing gandum. Mesin litiografi kaya planner kutha, nggunakake "cahya" kanggo nggambar blueprint kanggo bangunan kasebut ing wafer kasebut; Nalika Etching kaya sculptor kanthi alat presisi, sing tanggung jawab kanggo ngukir saluran, bolongan, lan garis sing tepat miturut blueprint. Yen sampeyan kanthi ati-ati mirsani bagean cross-bagean saka saluran "iki," sampeyan bakal nemokake manawa bentuk kasebut ora seragam; Sawetara yaiku trapezoid (luwih akeh ing sisih ndhuwur lan sempit ing sisih ngisor), dene liyane ana persegi sing sampurna (sidewall vertikal). Wangun kasebut ora sawenang-wenang; Ing mburi dheweke ana cermin prinsip fisik lan kimia sing kompleks, langsung nemtokake kinerja chip.

I. Prinsip dhasar etching: Kombinasi efek fisik lan kimia

Etching, mung dilebokake, minangka bahan sing ora dipilih sing ora dilindhungi dening Fotoresist. Iki biasane dipérang dadi rong kategori:

1 .. etching udan: nggunakake pelarut kimia (kayata asam lan alkali) kanggo etching. Minangka dhasar reaksi kimia sing murni, lan arah etching yaiku isotropik - iku, iku kanthi tingkat sing padha ing kabeh arah (sisih kiwa, kiwa, tengen, mudhun).

2 .. ETCHING Dry Ery (Plasma Etching): Iki minangka teknologi ide utama saiki. Ing kamar vakum, gas gas (kayata gas sing ngemot fluorine utawa klorine) dikenalake, lan plasma digawe dening sumber daya frekuensi radio. Plasma ngemot ion energi dhuwur lan radikal gratis sing aktif, sing bisa digunakake ing permukaan sing etchched.

Etching garing bisa nggawe macem-macem bentuk kanthi tepat amarga bisa nggabungake "serangan fisik" lan "serangan kimia":

Komposisi kimia: Tanggung jawab radikal bebas aktif. Dheweke reaksi kimia karo materi permukaan wafer, ngasilake produk sing ora bisa diilangi. Serangan iki yaiku Isotropik, saéngga bisa "lan etch mengko, mengko, nggawe bentuk trapezoid.

Komposisi fisik: ion energi kanthi positif, digawe kanthi lapangan listrik, bom permukaan wafer jejeg. Mirip karo sandblasting: "ion bom" iki minangka anisotropic, utamane kanthi vertikal, lan bisa "lurus lurus" ngukir sidewall.

II. Nemtokake loro profil klasik: kelahiran trapezoid lan profil persegi panjang

1. Trapezoid (profil tapered) - serangan kimia utamane

Prinsip pembentukan: Yen kimia etching dominasi proses kasebut, dene bom fisik luwih lemah, etching ora mung luwih akeh nerusake area kasebut ing ngisor topeng fotoresist lan sidewall sing kapapar. Iki nyebabake materi ing ngisor topeng sing dilindhungi supaya mboko sithik "hollowed metu," mbentuk sidewall sing ana ing sisih ndhuwur lan sempit ing sisih ngisor, i.e., trapezoid.

Jangkoan langkah sing apik: Ing proses pemanahan film tipis tipis, struktur slapezoid nggawe luwih gampang kanggo bahan (kayata logam) supaya bisa dicenthangake, nyingkiri fraktur ing sudhut tajem.

Suda stres: struktur sloping luwih apik nyebar stres, nambah linuwih piranti.

Toleransi proses dhuwur: kanthi gampang ditindakake.

2. Persegi panjang (profil vertikal) - serangan fisik utamane

Prinsip pambentukan: Yen bom ion fisik ndominasi proses kasebut, lan komposisi kimia dikontrol kanthi ati-ati, profil persegi panjang dibentuk. Ion energi dhuwur, kaya projectiles cilik sing ora ana gunane, bom lumahing wafer meh kanthi vertikal, entuk tarif etcal vertikal sing dhuwur banget. Bebarengan, bom bom mbentuk "lapisan passivation" (e.g., dibentuk dening etching sampung bayar) ing sidewalls; Film protèktif iki kanthi efektif nolak karat lateral saka radikal gratis kimia. Pungkasane, etching mung bisa nerusake kanthi vertikal, ngukir struktur persegi kanthi sidewall meh 90-derajat.

Ing proses manufaktur maju, kapadhetan transistor banget, lan papan banget larang regane.

Kesetiaan paling dhuwur: yaiku njaga konsistensi maksimal kanthi blueprint fotolylma, njamin dimensi kritis akurat (cd) akurat saka piranti.

Nyimpen wilayah: Struktur vertikal ngidini piranti diprodhuksi kanthi tilas minimalis, kunci kanggo chip miniaturisasi.

Semikoreks nawakake presisiKomponen SIC CVDing etching. Yen sampeyan duwe pitakon utawa butuh rincian tambahan, aja ragu-ragu kanggo sesambungan karo kita.

Hubungi telpon # + 86-13567891907

Email: sales@semikorex.com