Parameter inti ing etching garing

Efek loading nuduhake fenomena sing owah-owahan etching sing ora ana variabel kanthi variabel kayata wilayah lan lega-lenik pola sing wis didhisiki. Kanthi tembung liyane, macem-macem wilayah utawa linewidth sing beda-beda bakal nyebabake tingkat utawa morfologi.

1.Thitch Rete

Kesuburan wafer yaiku konsistensi tarif ing macem-macem lokasi ing wafer sing padha, sing nyebabake panyimpangan dimensi ing piranti semikonduktor. Nalika keseramatan wafer-kanggo-wafer nuduhake konsistensi tarif ing antarane wafers sing beda, sing bisa nyebabake fluktuasi akurasi kumpulan batch.

2.Selectivity

Selkripsi landasan landasan lan selektiv yaiku rong jinis pilihan etching garing. Saenipun, gas Etching kanthi pilihan topeng sing dhuwur lan pilihan substrat sing kurang dipilih, nanging ing kasunyatan, pilihan kudu dioptimalake kanthi nimbang sifat material.

3.Unifikansi

Kesuburan wafer yaiku konsistensi tarif ing macem-macem lokasi ing wafer sing padha, sing nyebabake panyimpangan dimensi ing piranti semikonduktor. Nalika keseramatan wafer-kanggo-wafer nuduhake konsistensi tarif ing antarane wafers sing beda, sing bisa nyebabake fluktuasi akurasi kumpulan batch.

Ukuran 4.

Dimensi kritis nuduhake paramèter geometris mikrottruktur kaya jembaré garis, jembaré trench, lan diameter bolongan.

5.Pilih rasio

Aspek aspek kasebut, minangka jeneng kasebut, yaiku rasio sing ambane etching amba kanggo ambane apent. Struktur aspek aspek minangka syarat inti kanggo piranti 3D ing MEMS, lan kudu dioptimalake liwat rasio gas lan kontrol gas kanggo ngindhari kerusakan tingkat ngisor.

6.Tikan karusakan

Etch kerusakan kaya out-etching, undercut lan sisih liyane bisa nyuda akurasi dimensi (e.g., balok luang elektrove, penyempitan balok cantilever).

7.Pilih efek

Efek loading nuduhake fenomena sing owah-owahan etching sing ora ana variabel kanthi variabel kayata wilayah lan lega-lenik pola sing wis didhisiki. Kanthi tembung liyane, macem-macem wilayah utawa linewidth sing beda-beda bakal nyebabake tingkat utawa morfologi.

Semikoreks SpesialisasiSIC ditutupilanTac ditutupiSolusi grafit ditrapake ing proses etching ing manufaktur semikonduktor, yen sampeyan duwe pitakon utawa butuh rincian tambahan, aja ragu-ragu kanggo sesambungan karo kita.

Kontak telpon: + 86-13567891907

Email: sales@semikorex.com