Apa cincin ing etching

Ing pabrik chip, motcolitik lan etching minangka rong langkah sing rapet. Fotolitholygraphy sadurunge, ing endi pola sirkuit dikembangake ing wafer nggunakake photoresist. Etching banjur ngilangi lapisan film sing ora dijamin dening fotoresist, ngrampungake transfer pola saka topeng kasebut menyang wafer lan nyiapake langkah-langkah sabanjure.

Etching melu mbusak bahan sing ora perlu nggunakake metode kimia utawa fisik. Nindakake lapisan, nolak lapisan, photolylogografi, lan pangembangan, etching mbusak materi film tipis sing ora perlu ing permukaan wafer, mung ninggalake wilayah sing dikarepake. Photesis sing berlebihan banjur dicopot. Baleni langkah-langkah kasebut kanthi bola-bali nggawe sirkuit terpadu kompleks. Amarga Etching melu materi, diarani "proses subtraktif."

Etching garing, uga dikenal minangka plasma Etching, minangka cara sing dominan ing etching semikonduktor. Plasma Elcher diklasifikasikake dadi rong kategori adhedhasar plasma generasi plasma lan teknologi kontrol: elanching capacitive (CCP) lan plasma (ICP) kanthi induktif. Etchers CCP utamane digunakake kanggo bahan dielektrik etching, dene etpl khusus digunakake kanggo silikon etching lan logam, lan uga diarani etchers. Bahan dielektrik

Ing proses etching, kita utamane nggunakake rong jinis cincin: cincin fokus lan cincin tameng.

Fokus fokus

Amarga efek pinggiran plasma, kapadhetan luwih dhuwur ing tengah lan ngisor ing sudhut. Cincin fokus, liwat bentuk annular lan bahan material saka CVD SIC, ngasilake kolom listrik khusus. Tuntunan lapangan iki lan ngonfirmasi partikel sing diisi (ion lan elektron) ing plasma wafer, utamane ing pinggir. Iki efektif nambah kapadhetan plasma ing pinggir, nyedhaki pusat kasebut. Iki ningkatake keseragaman etching ing antarane wafer, nyuda karusakan pinggiran, lan nambah ngasilake.

Cincin Shield

Biasane dumunung ing njaba elektrove, fungsi utama yaiku ngalangi kebanjiran plasma. Gumantung saka struktur kasebut, bisa uga bisa uga bisa dadi bagian saka elektroda. Bahan umum kalebu Silikon CVD utawa Silikon Tunggal-Crystal.

Semikoreks nawakake kualitas dhuwurCVD SIClanSilikonCincin etching adhedhasar kabutuhan pelanggan. Yen sampeyan duwe pitakon utawa butuh rincian tambahan, aja ragu-ragu kanggo sesambungan karo kita.

Hubungi telpon # + 86-13567891907

Email: sales@semikorex.com