Komponen keramik utama ing manufaktur semikonduktor

Peralatan semikonduktor dumadi saka kamar lan kamar, lan umume keramik digunakake ing kamar luwih cedhak karo wafer. Bagéan keramik, komponen penting digunakake ing rongga peralatan inti, yaiku komponen peralatan semikonduktor sing diproses kanthi nggunakake bahan keramik sing canggih kayata keramik nitride alumini, lan keramik karibik aluminium, lan keramik karibik aluminium. Bahan keramik canggih duwe kinerja sing apik banget, presisi, sifat listrik, lan resistensi karat, lan bisa nyukupi syarat kinerja sing kompleks kayata vakum lan suhu dhuwur. Komponen bahan keramik ceramah ceramah khusus digunakake ing kamar, lan sawetara ana ing kontak langsung karo wafer. Dheweke minangka komponen presisi utama ing manufaktur sirkuit sing terintegrasi dadi limang kategori: tuntunan annular, tuntunan udara, jinis tetep, jinis tetep, jinis-gasket, lan modul. Artikel iki utamane pirembagan babagan kategori pisanan: silinder annular.

Dering lan silinder

1 .. cincin moiré: utamane digunakake ing peralatan pemendepan film tipis. Dumunung ing ruangan proses, dheweke langsung ngubungi wafer, nambahake tuntunan gas, insulasi, lan resistensi karat.

2 .. cincin pengawal: utamane digunakake ing peralatan pemantau film tipis lan etcher. Dumunung ing ruangan proses, nglindhungi komponen modul modul kayata minangka pemanasan elekrostatik lan pemanas keramik.

3 .. cincin pojok: utamane digunakake ing peralatan pemantau film tipis lan etcher. Dumunung ing ruangan proses, dheweke stabil lan nyegah plasma uwal.

4 .. Cincin fokus: Digunakake ing peralatan pemantau film tipis, etcer, lan ion implantasi peralatan. Dumunung ing ruangan proses, luwih saka 20mm saka wafer, fokus ing plasma ing kamar.

5. Pintu pelindung: Digunakake utamane ing peralatan pemantau film tipis lan etcher. Dumunung ing ruangan proses, dheweke sisa sisa residu.

6. Rings Grounding: Digunakake digunakake ing peralatan pemantau film tipis lan etcer. Dumunung ing njaba ruangan, dheweke aman lan ndhukung komponen.

7 .. Liner: Utama digunakake ing etchers, sing ana ing ruang proses, nambah tuntunan gas lan njamin pembentukan film seragam luwih seragam.

8. Silinder insulasi: utamane digunakake ing peralatan pemakaran film tipis, etchers, lan ion implanters, ana ing njero ruangan proses lan nambah kinerja kontrol suhu peralatan.

9 .. Tube Perlindhungan termocouple: Utamane digunakake ing macem-macem peralatan ngarep semikonduktor, ana ing njaba ruangan lan nglindhungi thermocouples ing suhu sing cukup stabil lan lingkungan kimia.

Semikoreks nawakake kualitas dhuwurProduk Keramiking semikonduktor. Yen sampeyan duwe pitakon utawa butuh rincian tambahan, aja ragu-ragu kanggo sesambungan karo kita.

Hubungi telpon # + 86-13567891907

Email: sales@semikorex.com