Pemanas Keramik

Ing proses ngarep (FOL) manufaktur semikonduktor, ingwaferkudu kena macem-macem perawatan proses, utamane wafer kudu digawe panas ing suhu tartamtu, lan ana syarat sing ketat, amarga keseragaman suhu duwe pengaruh sing penting banget ing pamaruan produk; Ing wektu sing padha, peralatan semikonduktor kudu nyambut gawe ing ngarsane vakum, plasma lan gas kimia, sing mbutuhake panggunaan pemanas keramik.Pemanas Keramikminangka komponen penting saka setep set sexonduktor. Iki digunakake ing kamar proses lan langsung hubungi wafer kanggo nindakake lan ngaktifake wafer kanggo entuk suhu proses stabil lan kanggo reaksi kanthi tliti ing permukaan wafer kanggo ngasilake film lancip.

Amarga peralatan deposisi film tipis sing digunakake dening Heater Keramik nglibatake suhu sing dhuwur, bahan keramik utamane adhedhasar aluminium nitride (aln) umume digunakake. Amarga Nitride aluminium duwe penebat listrik lan konduktivitas termal sing apik; Kajaba iku, koefisi ekspansi termal yaiku cedhak karo silikon, lan nduweni resistensi plasma sing apik, cocog digunakake minangka komponen peralatan semikonduktor.

Chuckrostatic (ESCS) utamane digunakake ing peralatan etching, utamane aluminium oksida (al2o3). Wiwit chuck electrostatic dhewe uga ngemot pemanas, njupuk etching garing minangka conto, perlu kanggo ngontrol wafer ing suhu tartamtu ing sawetara -70 ℃ ~ 100 ℃ kanggo njaga karakteristik etching tartamtu. Mula, wafer kasebut kudu digawe panas utawa dissipated dening chuck electrostatic kanthi tepat kanggo ngontrol suhu wafer kanthi akurat. Kajaba iku, kanggo njamin keseragaman permukaan wafer, Chuck electrostatic asring kudu nambah zona kontrol suhu kanggo ngontrol suhu suhu kontrol suhu kanthi kapisah kanggo nambah asil proses. Mesthi wae, kanthi pangembangan teknologi, bedane antarane pemanasat keramik tradisional lan belang electrostatic wiwit dadi kabur. Sawetara pemanas keramik duwe fungsi dual saka suhu suhu dhuwur lan adsorption elektrostatik.

Pemanas keramik kalebu basis keramik sing nggawa wafer lan badan dhukungan silinder sing ndhukung ing mburi. Ing njero ruangan utawa ing lumahing basis keramik, saliyane kanggo unsur resistansi (lapisan pemanasan) kanggo pemanasan, uga ana uga electrirt radio (lapisan frekuensi radio). Kanggo nggayuh pemanasan lan pendinginan kanthi cepet, kekandelan pangkalan keramik kudu lancip, nanging lancip uga tipis uga bakal nyuda kaku. Badan dhukungan pemanas umume digawe saka bahan kanthi coefer sing padha karo dhasar kasebut, saéngga awak dhukungan asring uga digawe saka nitrida aluminium. Pemanas nganggo struktur unik saka gabungan garan (batang) ing sisih ngisor, sing bisa nglindhungi terminal lan kabel saka efek saka plasma lan gas kimia korosif. Pipa gas konduksi panas lan pipa outlet diwenehake ing awak dhukungan kanggo njamin suhu seragam pemanas. Dasar lan awak dhukungan ikatan kimia karo lapisan ikatan.

Semikoreks nawakake kualitas dhuwurPemanas KeramikWaca rangkeng-. Yen sampeyan duwe pitakon utawa butuh rincian tambahan, aja ragu-ragu kanggo sesambungan karo kita.

Hubungi telpon # + 86-13567891907

Email: sales@semikorex.com